[发明专利]一种二维材料的转移系统

摘要

本发明实施例公开了一种二维材料的转移系统，该系统通过采用对准装置检测转移基片载物台上的转移基片与目标基片载物台上的目标基片是否对准，并将对准检测结果反馈至主控制装置，使得主控制装置能够根据对准检测结果，控制转移基片控制装置调节转移基片载物台的位置和/或控制目标基片控制装置调节目标基片载物台的位置，并在转移基片与目标基片对准后，将转移基片上的二维材料转移至目标基片上。本发明实施例提供的二维材料的转移系统，能够采用智能化、自动化的方式实现二维材料的转移，提高二维材料的对准转移精度，使得二维材料的转移过程简单化，进而节省了人力成本和二维材料的制备成本。

主权项

1.一种二维材料的转移系统，其特征在于，包括：转移基片控制装置、目标基片控制装置、对准装置以及主控制装置；所述转移基片控制装置包括转移基片载物台，所述目标基片控制装置包括目标基片载物台；所述转移基片载物台与所述目标基片载物台相对设置，所述转移基片载物台用于放置转移基片，所述目标基片载物台用于放置目标基片；所述对准装置与所述主控制装置连接；所述对准装置用于检测所述转移基片与所述目标基片是否对准，并将对准检测结果反馈至所述主控制装置；所述主控制装置分别与所述转移基片控制装置以及所述目标基片控制装置连接；所述主控制装置根据所述对准检测结果，控制所述转移基片控制装置调节所述转移基片载物台的位置和/或控制所述目标基片控制装置调节所述目标基片载物台的位置，以使所述转移基片与所述目标基片对准；所述主控制装置还用于在所述转移基片与所述目标基片对准后，控制所述转移基片控制装置将所述转移基片上的二维材料转移至所述目标基片上。