[发明专利]一种二维材料的转移系统

权利要求书

1.一种二维材料的转移系统，其特征在于，包括：转移基片控制装置、目标基片控制装置、对准装置以及主控制装置；

所述转移基片控制装置包括转移基片载物台，所述目标基片控制装置包括目标基片载物台；所述转移基片载物台与所述目标基片载物台相对设置，所述转移基片载物台用于放置转移基片，所述目标基片载物台用于放置目标基片；

所述对准装置与所述主控制装置连接；所述对准装置用于检测所述转移基片与所述目标基片是否对准，并将对准检测结果反馈至所述主控制装置；

所述主控制装置分别与所述转移基片控制装置以及所述目标基片控制装置连接；所述主控制装置根据所述对准检测结果，控制所述转移基片控制装置调节所述转移基片载物台的位置和/或控制所述目标基片控制装置调节所述目标基片载物台的位置，以使所述转移基片与所述目标基片对准；

所述主控制装置还用于在所述转移基片与所述目标基片对准后，控制所述转移基片控制装置将所述转移基片上的二维材料转移至所述目标基片上；

所述对准装置包括：信息记录装置、照明装置、光学显微镜以及显微镜控制台；

所述光学显微镜固定于所述显微镜控制台上；所述光学显微镜与所述主控制装置连接；所述显微镜控制台与所述主控制装置连接；所述主控制装置调节所述光学显微镜的成像参数，以及通过所述显微镜控制台调节所述光学显微镜的视角；

所述信息记录装置分别与所述光学显微镜和所述主控制装置连接；所述信息记录装置用于记录所述光学显微镜的成像信息，并将所述成像信息反馈至所述主控制装置，以使所述主控制装置根据所述成像信息，调节所述成像参数和视角；

所述照明装置用于为所述光学显微镜提供光源；

所述信息记录装置包括电荷耦合元件摄像头；

所述光学显微镜包括：可伸缩的双分束镜；

所述可伸缩的双分束镜在接受到对准指令时，伸向所述转移基片和所述目标基片之间，检测所述转移基片与所述目标基片是否对准；所述可伸缩的双分束镜在接受到转移指令时，缩回移出所述转移基片和所述目标基片之间；

所述转移基片控制装置还包括：升降台、伸缩杆和压力传感器；

所述伸缩杆的第一端与所述转移基片载物台连接，所述伸缩杆的第二端与所述升降台滑动连接，所述伸缩杆还与所述主控制装置连接；所述升降台与所述主控制装置连接；所述主控制装置控制所述升降台运动，以使所述升降台靠近或远离所述目标基片载物台；所述伸缩杆用于在所述主控制装置的控制下，在所述转移基片载物台所在的平面上移动，以调节所述转移基片与所述目标基片的相对位置；

所述压力传感器位于所述转移基片载物台上，所述压力传感器与所述主控制装置连接；所述压力传感器用于检测所述转移基片载物台上的转移基片与所述目标基片载物台上的目标基片之间的接触力信号，并将所述接触力信号传输至所述主控制装置；

所述二维材料的转移系统还包括：数控加热装置；

所述数控加热装置位于所述目标基片载物台上，所述数控加热装置与所述主控制装置连接；所述数控加热装置用于在所述主控制装置的控制下，对所述目标基片载物台上的所述目标基片进行加热。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：防震台；

所述转移基片控制装置、所述目标基片控制装置以及所述对准装置设置于所述防震台上。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：控制面板；

所述主控制装置与所述控制面板连接；所述控制面板用于获取用户的操作指令，并传输至所述主控制装置。