[发明专利]一种TFT-LCD负性显影液在审
| 申请号： | 201810857507.7 | 申请日： | 2018-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN108919617A | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 赵文应 | 申请（专利权）人： | 赵文应 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410081 湖南省长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TFT‑LCD负性显影液。该负性显影液由以下重量百分比的原料组成：无机碱3%‑5%，无机盐1%‑2%，缓蚀剂0.5%‑1%，表面活性剂5%‑10%，阻垢剂0.5‑3%，去离子水79%‑90%。其中所述无机碱是氢氧化钾，无机盐是碳酸钾，缓蚀剂是硅酸钠，表面活性剂是壬基丁基封端聚氧乙烯醚（C9H19O(C2H4O)nC4H9，n=9‑12），阻垢剂是羟基乙叉二膦酸。本发明的TFT‑LCD负性显影液的优点在于：水基体系，绿色环保；泡沫量少，适合于喷淋生产；显影干净，无残留胶杂。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 负性 无机盐 表面活性剂 缓蚀剂 无机碱 阻垢剂 羟基乙叉二膦酸 聚氧乙烯醚 重量百分比 绿色环保 氢氧化钾 去离子水 水基体系 原料组成 硅酸钠 泡沫量 碳酸钾 无残留 丁基 封端 喷淋 壬基 显影 生产 | ||
【主权项】：
1.一种TFT‑LCD负性显影液，由以下重量百分比的原料组成：无机碱3%‑5%；无机盐1%‑2%；缓蚀剂0.5%‑1%；表面活性剂5%‑10%；阻垢剂0.5‑2%；去离子水80%‑90%。
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