[发明专利]一种TFT-LCD负性显影液在审
| 申请号： | 201810857507.7 | 申请日： | 2018-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN108919617A | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 赵文应 | 申请（专利权）人： | 赵文应 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410081 湖南省长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显影液 负性 无机盐 表面活性剂 缓蚀剂 无机碱 阻垢剂 羟基乙叉二膦酸 聚氧乙烯醚 重量百分比 绿色环保 氢氧化钾 去离子水 水基体系 原料组成 硅酸钠 泡沫量 碳酸钾 无残留 丁基 封端 喷淋 壬基 显影 生产 | ||
【权利要求书】：
1.一种TFT-LCD负性显影液，由以下重量百分比的原料组成：
无机碱3%-5%；
无机盐1%-2%；
缓蚀剂0.5%-1%；
表面活性剂5%-10%；
阻垢剂0.5-2%；
去离子水80%-90%。
2.根据权利要求1所述的负性光刻胶显影液，其特征在于，所述无机碱为氢氧化钾。
3.根据权利要求1所述的负性光刻胶显影液，其特征在于，所述无机盐是碳酸钾。
4.根据权利要求1所述的负性光刻胶显影液，其特征在于，所述缓蚀剂是硅酸钠。
5.根据权利要求1所述的负性光刻胶显影液，其特征在于，所述表面活性剂是壬基丁基封端聚氧乙烯醚（C9H19O(C2H4O)nC4H9，n=9-12）。
6.根据权利要求1所述的负性光刻胶显影液，其特征在于，所述阻垢剂是羟基乙叉二膦酸。
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