[发明专利]一种具有三明治结构的钛酸铋薄膜晶体管及制备方法在审
| 申请号： | 201810848800.7 | 申请日： | 2018-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN109037347A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 张玉英 | 申请（专利权）人： | 张玉英 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L29/12;C04B35/475 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610100 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于电子材料的技术领域，提供了一种具有三明治结构的钛酸铋薄膜晶体管及制备方法。该方法通过制备铈掺杂钛酸铋前驱体溶液，并涂覆于衬底表面形成铈掺杂钛酸铋薄膜，再通过直流磁控溅射分别形成栅极、漏极和源极，制得Ag‑钛酸铋‑Al‑钛酸铋‑Ag三明治结构的薄膜晶体管。与传统方法相比，本发明制备的薄膜晶体管为垂直结构，具有隧道效应，载流子迁移率和阈值电压较小，剩余极化强度较大，漏电流密度较小，可用作主动式有机电致发光显示材料。 | ||
| 搜索关键词： | 钛酸铋 薄膜晶体管 制备 三明治结构 铈掺杂 有机电致发光显示 载流子迁移率 直流磁控溅射 前驱体溶液 衬底表面 垂直结构 电子材料 剩余极化 隧道效应 阈值电压 主动式 可用 漏极 涂覆 源极 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种具有三明治结构的钛酸铋薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，所述钛酸铋薄膜晶体管制备的具体步骤如下：（1）将硝酸铋、铈盐加入氯仿中，磁力搅拌至完全溶解，制得金属盐溶液，然后将钛酸四丁酯、乙酸加入无水乙醇中，磁力搅拌至完全溶解，然后在搅拌状态下缓慢滴加入金属盐溶液，继续搅拌10~12h，进一步置于恒温箱中陈化，制得铈掺杂钛酸铋前驱体溶液；（2）以SiO2/Si为衬底，先通过匀胶机将前驱体溶液低速初甩，然后高速匀胶涂覆于衬底表面，并进行快速退火，重复涂覆及退火过程，制得铈掺杂钛酸铋薄膜；（3）通过直流磁控溅射在铈掺杂钛酸铋薄膜一侧沉积铝层作为栅极，并与另一层铈掺杂钛酸铋薄膜复合，制得钛酸铋‑Al‑钛酸铋三层结构，然后通过直流磁控溅射在三层结构的两侧分别沉积银层，作为漏极和源极，制得Ag‑钛酸铋‑Al‑钛酸铋‑Ag三明治结构的薄膜晶体管。
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