[发明专利]一种具有三明治结构的钛酸铋薄膜晶体管及制备方法

权利要求书

1.一种具有三明治结构的钛酸铋薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，所述钛酸铋薄膜晶体管制备的具体步骤如下：

（1）将硝酸铋、铈盐加入氯仿中，磁力搅拌至完全溶解，制得金属盐溶液，然后将钛酸四丁酯、乙酸加入无水乙醇中，磁力搅拌至完全溶解，然后在搅拌状态下缓慢滴加入金属盐溶液，继续搅拌10~12h，进一步置于恒温箱中陈化，制得铈掺杂钛酸铋前驱体溶液；

（2）以SiO₂/Si为衬底，先通过匀胶机将前驱体溶液低速初甩，然后高速匀胶涂覆于衬底表面，并进行快速退火，重复涂覆及退火过程，制得铈掺杂钛酸铋薄膜；

（3）通过直流磁控溅射在铈掺杂钛酸铋薄膜一侧沉积铝层作为栅极，并与另一层铈掺杂钛酸铋薄膜复合，制得钛酸铋-Al-钛酸铋三层结构，然后通过直流磁控溅射在三层结构的两侧分别沉积银层，作为漏极和源极，制得Ag-钛酸铋-Al-钛酸铋-Ag三明治结构的薄膜晶体管。

2.根据权利要求1所述一种具有三明治结构的钛酸铋薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：步骤（1）所述铈盐为硝酸铈、硫酸铈、醋酸铈、异辛酸铈中的至少一种。

3.根据权利要求1所述一种具有三明治结构的钛酸铋薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：步骤（1）所述反应体系中，硝酸铋12~15重量份、铈盐2~4重量份、钛酸四丁酯15~18重量份、乙酸2~3重量份、氯仿30~35重量份、无水乙醇25~39重量份。

4.根据权利要求1所述一种具有三明治结构的钛酸铋薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：步骤（1）所述陈化的温度为15~20℃，时间为4~8d。

5.根据权利要求1所述一种具有三明治结构的钛酸铋薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：步骤（2）所述低速初甩的转速为200~300r/min，时间为10~12s。

6.根据权利要求1所述一种具有三明治结构的钛酸铋薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：步骤（2）所述高速匀胶的转速为3800~4200r/min，时间为15~18s。

7.根据权利要求1所述一种具有三明治结构的钛酸铋薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：步骤（2）所述退火的温度为400~600℃，时间为10~20min。

8.根据权利要求1所述一种具有三明治结构的钛酸铋薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：步骤（2）所述涂覆及退火过程的重复次数为3~8次。

9.权利要求1~8任一项所述制备方法制备得到的一种具有三明治结构的钛酸铋薄膜晶体管。