[发明专利]电阻模型物理参数提取方法在审
| 申请号： | 201810840455.2 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN109117529A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 王伟 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;G06N3/12 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种电阻模型物理参数提取方法，包括步骤：步骤一、制作多个电阻，测试各电阻的长度、宽度和电阻值；步骤二、选取电阻模型物理参数，电阻模型物理参数包括3个，分别为：归一化方块电阻，修正线长，修正线宽；步骤三、设定电阻累积误差函数，公式为： |
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| 搜索关键词： | 电阻 电阻模型 物理参数 修正 方块电阻 累积误差 遗传算法 归一化 线长 线宽 适应度函数 参数拟合 拟合 测试 制作 | ||
【主权项】：
1.一种电阻模型物理参数提取方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、制作多个电阻，测试各所述电阻的长度、宽度和电阻值，所述电阻的个数为n，第i个电阻对应的长度用L(i)表示，宽度用W(i)表示，电阻值用R(i)表示，1≦i≦n；步骤二、选取电阻模型物理参数，电阻模型物理参数包括3个，分别为：归一化方块电阻，修正线长，修正线宽；所述归一化方块电阻用Rsh表示，所述修正线长用DL表示，所述修正线宽用DW表示；步骤三、设定电阻累积误差函数，所述电阻累积误差函数用公式表示为：![]()
步骤四、采用遗传算法提取所述归一化方块电阻、所述修正线长和所述修正线宽的取值，在遗传算法流程中采用所述电阻累积误差函数作为适应度函数。
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