[发明专利]薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板以及显示装置有效
申请号: | 201810840346.0 | 申请日: | 2018-07-27 |
公开(公告)号: | CN109037345B | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 苏同上;王东方;王庆贺;闫梁臣 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L21/336;H01L29/06;H01L27/12 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 赵天月 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板以及显示装置。其中,薄膜晶体管的有源层包括沟道区、第一导体化区和第二导体化区,沟道区设置在第一导体化区和第二导体化区之间,其中,沟道区包括相对的第一边和第二边,第一边与第一导体化区的第三边相接触,第二边与第二导体化区的第四边相接触,且第一边的长度大于第三边的长度。发明人发现,该薄膜晶体管的结构简单、易于实现,良率较高,沟道区在沿第一边的方向上的宽度较均匀,使得薄膜晶体管的阈值电压较均匀,沟道区几乎不会出现导体化的现象。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 及其 制作方法 阵列 以及 显示装置 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜晶体管,其特征在于,所述薄膜晶体管的有源层包括沟道区、第一导体化区和第二导体化区,所述沟道区设置在所述第一导体化区和所述第二导体化区之间,其中,所述沟道区包括相对的第一边和第二边,所述第一边与所述第一导体化区的第三边相接触,所述第二边与所述第二导体化区的第四边相接触,且所述第一边的长度大于所述第三边的长度。
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