[发明专利]一种纳米孔金薄膜的制作方法及应用该薄膜的硅基在审
| 申请号： | 201810839588.8 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN108996469A | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 赵复生;李静婷;赵俊洋 | 申请（专利权）人： | 纤瑟(天津)新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京红福盈知识产权代理事务所(普通合伙) 11525 | 代理人： | 陈月福 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新区经济技术开发区信环西路19号泰达*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米孔金薄膜的制作方法及应用该薄膜的硅基，包括待加工的硅片，微结构纳米孔金薄膜的制作方法包括以下步骤：在硅片的表面制作形成均匀的单层聚苯乙烯微球层，使用氧气等离子缩小聚苯乙烯微球的直径，保证微球间隙，在硅片上蚀刻出微结构，将聚苯乙烯微球层移出硅片的加工面，形成硅基，在硅基表面均匀覆盖一层金银合金薄膜，将金银合金薄膜中的银原子去除，形成微结构纳米孔金薄膜。本发明的有益效果是，通过在硅片的表面形成聚苯乙烯微球层，然后在硅基表面通过反应离子蚀刻出不同的硅基表面微结构的方法，将孔金薄膜铺设在不同微结构的硅基表面，经过比较可以简便的得到最优的用于拉曼光谱测量的孔金薄膜结构。 | ||
| 搜索关键词： | 金薄膜 微结构 硅片 聚苯乙烯微球 硅基表面 纳米孔 薄膜 金银合金 制作 硅基 反应离子蚀刻 拉曼光谱测量 蚀刻 氧气等离子 表面形成 均匀覆盖 加工面 银原子 单层 微球 移出 去除 应用 铺设 加工 保证 | ||
【主权项】：
1.一种纳米孔金薄膜的制作方法及应用该薄膜的硅基，包括待加工的硅片，其特征在于，微结构纳米孔金薄膜的制作方法包括以下步骤：a、在硅片的表面制作形成均匀的单层聚苯乙烯微球层。b、使用氧气等离子缩小聚苯乙烯微球的直径，保证微球间隙。c、在硅片上蚀刻出微结构。d、将聚苯乙烯微球层移出硅片的加工面，形成硅基。e、在硅基表面均匀覆盖一层金银合金薄膜。f、将金银合金薄膜中的银原子去除，形成微结构纳米孔金薄膜。
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