[发明专利]一种金刚石设备的镀膜压力自动控制装置、方法及系统

摘要

本发明公开一种金刚石设备的镀膜压力自动控制装置、方法及系统。真空腔室通过管道与机械泵连接，电磁调节阀位于管道上；电磁调节阀与电磁调节阀电源连接，真空腔室与薄膜规连接，薄膜规与薄膜规电源连接，薄膜规电源包括电池和处理器，电池用于对薄膜规进行充电，处理器用于将真空腔室的压力进行模数转换得到压力数字值；上位机与薄膜规电源连接，上位机用于接收所述薄膜规电源发送的真空腔室的数字压力值，上位机与和电磁调节阀电源连接连接，上位机用于控制所述电磁调节阀电源产生的磁场。采用本发明的装置、方法及系统无需人员调节阀门，解放了人力，提高了工作效率；和自动系统结合使用，可以实现设备自动化，节省了操作时间。

主权项

1.一种金刚石设备的镀膜压力自动控制装置，其特征在于，所述控制装置包括：真空腔室、薄膜规、管道、电磁调节阀、机械泵、电磁调节阀电源、薄膜规电源和上位机；所述真空腔室通过所述管道与所述机械泵连接，所述电磁调节阀位于管道上；所述电磁调节阀与所述电磁调节阀电源连接，所述真空腔室与所述薄膜规连接，所述薄膜规与所述薄膜规电源连接，所述薄膜规电源包括电池和处理器，所述电池用于对所述薄膜规进行充电，所述处理器用于将所述薄膜规测量的真空腔室的压力进行模数转换得到压力数字值；所述上位机与所述薄膜规电源连接，所述上位机用于接收所述薄膜规电源发送的所述真空腔室的数字压力值，所述上位机与所述电磁调节阀电源连接连接，所述上位机用于控制所述电磁调节阀电源产生的磁场。