[发明专利]一种MEMS传感器的控制装置及方法在审
| 申请号： | 201810826959.9 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN108803680A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 方焕辉 | 申请（专利权）人： | 方焕辉 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 谈杰 |
| 地址： | 100039 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS传感器的控制装置及方法，其中的装置包括：光纤激光器、激光器电源、位移调节平台、驱动控制器、微机电系统MEMS传感器和处理器；光纤激光器的激光发射光纤头与位移调节平台固定，光纤激光器与激光器电源连接，位移调节平台与驱动控制器连接，激光器电源、驱动控制器和MEMS传感器均与处理器连接。本发明通过激光在MEMS传感器的感应面产生的作用力，作为对MEMS传感器的控制力，并通过对光纤激光器的发射功率的调整来调节控制力的大小，实现了被动式光学反馈控制，不依赖于MEMS传感器反馈的振动信号，因此不易受外界干扰，控制精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤激光器 激光器电源 驱动控制器 位移调节 控制装置 控制力 处理器连接 微机电系统 发射功率 光学反馈 激光发射 外界干扰 振动信号 被动式 感应面 光纤头 处理器 激光 反馈 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS传感器的控制装置，其特征在于，包括：光纤激光器、激光器电源、位移调节平台、驱动控制器、微机电系统MEMS传感器和处理器；所述光纤激光器的激光发射光纤头与所述位移调节平台固定，所述光纤激光器与所述激光器电源连接，所述位移调节平台与所述驱动控制器连接，所述激光器电源、所述驱动控制器和所述MEMS传感器均与所述处理器连接；所述驱动控制器，用于驱动所述位移调节平台将所述激光发射光纤头向正对所述MEMS传感器的感应面的方向移动，并向所述处理器发送位移信号；所述处理器，用于当根据所述位移信号，确定所述位移调节平台的位移达到第一阈值时，通过所述驱动控制器驱动所述位移平台停止移动，并通过所述激光器电源控制所述光纤发射器发射激光；所述处理器，还用于根据所述MEMS发送的传感信号，通过所述激光器电源按照设定参数调节所述光纤激光器的发射功率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于方焕辉，未经方焕辉许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810826959.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种自动化智能衣架
- 下一篇：一种无刷电机增稳云台控制方法及系统
