[发明专利]一种MEMS传感器的控制装置及方法

权利要求书

1.一种MEMS传感器的控制装置，其特征在于，包括：光纤激光器、激光器电源、位移调节平台、驱动控制器、微机电系统MEMS传感器和处理器；

所述光纤激光器的激光发射光纤头与所述位移调节平台固定，所述光纤激光器与所述激光器电源连接，所述位移调节平台与所述驱动控制器连接，所述激光器电源、所述驱动控制器和所述MEMS传感器均与所述处理器连接；

所述驱动控制器，用于驱动所述位移调节平台将所述激光发射光纤头向正对所述MEMS传感器的感应面的方向移动，并向所述处理器发送位移信号；

所述处理器，用于当根据所述位移信号，确定所述位移调节平台的位移达到第一阈值时，通过所述驱动控制器驱动所述位移平台停止移动，并通过所述激光器电源控制所述光纤发射器发射激光；

所述处理器，还用于根据所述MEMS发送的传感信号，通过所述激光器电源按照设定参数调节所述光纤激光器的发射功率。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述位移调节平台包括步进位移平台和压电陶瓷微位移平台，所述步进位移平台与所述压电陶瓷微位移平台连接，所述压电陶瓷微位移平台与所述激光发射光纤头连接；

所述处理器，具体用于通过所述驱动控制器驱动所述步进位移平台移动，当确定所述步进位移平台的位移达到第二阈值时，驱动所述压电陶瓷微位移平台移动，直至所述步进平台的位移达到所述第一阈值。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述处理器，具体用于根据所述MEMS传感器发送的传感信号，判断所述激光发射光纤头发出的激光是否为蓝失谐激光；

当所述激光发射光纤头发出的激光为蓝失谐激光时，通过所述激光器电源按照设定参数调节所述光纤激光器的发射功率。

4.一种应用于如权利要求1-3任一项所述的MEMS传感器的控制装置的控制方法，其特征在于，包括：

所述驱动控制器驱动所述位移平台将所述激光发射光纤头向正对所述MEMS传感器的感应面的方向移动，并向所述处理器发送位移信号；

当所述处理器根据所述位移信号，确定所述位移调节平台的位移达到第一阈值时，所述处理器通过所述驱动控制器驱动所述位移调节平台停止移动，并通过所述激光器电源控制所述光纤发射器发射激光；

所述处理器根据所述MEMS传感器发送的传感信号，通过所述激光器电源按照设定参数调节所述光纤激光器的发射功率。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述位移调节平台包括步进位移平台和压电陶瓷微位移平台，所述步进位移平台与所述压电陶瓷微位移平台连接，所述压电陶瓷微位移平台与所述激光发射光纤头连接；

所述处理器通过所述驱动控制器驱动所述步进位移平台移动，当确定所述步进位移平台的位移达到第二阈值时，驱动所述压电陶瓷微位移平台移动，直至所述步进平台的位移达到所述第一阈值。

6.根据权利要求4或5所述的方法，其特征在于，所述处理器根据所述MEMS传感器发送的传感信号，判断所述激光发射光纤头发出的激光是否为蓝失谐激光；

当所述激光发射光纤头发出的激光为蓝失谐激光时，所述处理器通过所述激光器电源按照设定参数调节所述光纤激光器的发射功率。