[发明专利]一种单晶炉用电极结构在审
申请号: | 201810823697.0 | 申请日: | 2018-07-25 |
公开(公告)号: | CN108754615A | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 左洪波;杨鑫宏;李铁;周德印 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150001 黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本发明提供了一种单晶炉用电极结构,它是由拼接在一起的两块电极板,可安装铜电极连接板的凹槽和安装在电极板上的铜柱结构组成。两块电极板安装在一起呈圆形或方形,内侧开有凹槽,电极板内部为中空结构,可安装铜电极连接板的凹槽上有内螺纹,方便两者之间连接固定;安装在电极板上的铜柱为中空结构,两端有外螺纹,分别与电极板和冷却水的接头连接,中间部分与电源连接。本发明电极结构可以增大与发热体上铜电极连接板的接触面积,提高稳定性,冷却水可以在电极板内部流通带走热量,减少因内部温度过高对电极的损坏,同时可以铜柱结构任意调节电极板与大炉盖之间的距离,使单晶炉内的温度梯度分布更合理,利于蓝宝石单晶的生长。 | ||
搜索关键词: | 电极板 单晶炉 连接板 铜电极 铜柱 两块电极板 中空结构 可安装 冷却水 温度梯度分布 蓝宝石单晶 电极结构 电源连接 接头连接 结构组成 连接固定 任意调节 温度过高 大炉盖 对电极 发热体 内螺纹 外螺纹 拼接 生长 流通 | ||
【主权项】:
1.一种单晶炉用电极结构,它包括拼接在一起的两块电极板,可安装铜电极连接板的凹槽和安装在电极板上的铜柱结构;两块电极板安装在一起呈圆形或方形,内侧开有可安装铜电极连接板的凹槽,电极板内部为中空结构,冷却水可在其内部流过;可安装铜电极连接板的凹槽上有方便两者之间连接固定的内螺纹;安装在电极板上的铜柱为中空结构,两端有外螺纹,分别与电极板和冷却水的接头连接,中间部分与电源连接;整体结构安装在大炉盖的下方,通过铜柱结构上的螺母连接固定并密封。
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