[发明专利]一种石英坩埚涂层及其制备方法和用途在审
| 申请号： | 201810818418.1 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN109082705A | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 王文庆;王定永 | 申请（专利权）人： | 宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315490 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种石英坩埚涂层及其制备方法和用途，该英坩埚涂层的制备方法包括以下步骤：(1)在坩埚涂层的喷涂液中，加入烧结助剂，混合充分，然后喷涂于坩埚内表面上，形成涂层；(2)待涂层干燥后，对带有涂层的坩埚内表面进行加热，使其形成致密涂层。本发明通过在坩埚涂层喷涂液中添加烧结助剂，通过高温过程使烧结助剂形成玻璃相，这些玻璃相粘结氮化硅粉体进而在坩埚表面形成致密涂层。这些致密涂层既可以起到脱模作用，也可以防止涂层脱落进入硅晶体中形成硬质点，进而降低多线切割、尤其是金刚线切割时的线痕不良和断线风险。 | ||
| 搜索关键词： | 烧结助剂 致密涂层 坩埚涂层 制备 石英坩埚涂层 坩埚内表面 玻璃相 喷涂液 氮化硅粉体 多线切割 高温过程 涂层干燥 涂层脱落 坩埚表面 硅晶体 喷涂于 线切割 硬质点 断线 脱模 线痕 粘结 加热 | ||
【主权项】：
1.一种石英坩埚涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)在坩埚涂层的喷涂液中，加入烧结助剂，混合充分，然后喷涂于坩埚内表面上，形成涂层；(2)待涂层干燥后，对带有涂层的坩埚内表面进行加热，使其形成致密涂层。
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