[发明专利]一种石英坩埚涂层及其制备方法和用途在审
| 申请号： | 201810818418.1 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN109082705A | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 王文庆;王定永 | 申请（专利权）人： | 宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315490 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 烧结助剂 致密涂层 坩埚涂层 制备 石英坩埚涂层 坩埚内表面 玻璃相 喷涂液 氮化硅粉体 多线切割 高温过程 涂层干燥 涂层脱落 坩埚表面 硅晶体 喷涂于 线切割 硬质点 断线 脱模 线痕 粘结 加热 | ||
1.一种石英坩埚涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)在坩埚涂层的喷涂液中，加入烧结助剂，混合充分，然后喷涂于坩埚内表面上，形成涂层；(2)待涂层干燥后，对带有涂层的坩埚内表面进行加热，使其形成致密涂层。
2.根据权利要求1所述的石英坩埚涂层的制备方法，其特征在于：步骤(1)中，所述烧结助剂为氧化硅、氧化铝、氧化锂、或稀土元素的氧化物的一种或多种的混合，或者为在高温下能够分解生成这些物质的氢氧化物或碳酸化合物。
3.根据权利要求1或2所述的石英坩埚涂层的制备方法，其特征在于：所述烧结助剂的形态为粉体，其纯度为99％-99.999％，粒度为100nm-1mm。
4.根据权利要求3所述的石英坩埚涂层的制备方法，其特征在于：所述烧结助剂的添加量为喷涂液的0.5-50wt％。
5.根据权利要求1所述的石英坩埚涂层的制备方法，其特征在于：步骤(2)中，带有涂层的坩埚内表面的加热方式为电弧加热或者电阻丝加热。
6.根据权利要求5所述的石英坩埚涂层的制备方法，其特征在于：加热温度为600-1700℃，时间在60min之内。
7.根据权利要求1所述的石英坩埚涂层的制备方法，其特征在于：步骤(2)中，直接向坩埚内装填硅料，并将其放入晶体生长炉内进行加热融化和降温凝固，直接利用晶体生长过程中的热量，对坩埚涂层进行加热并形成致密涂层。
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