[发明专利]蚀刻效果预测方法和确定人工神经网络的输入参数的方法在审
| 申请号： | 201810812094.0 | 申请日： | 2018-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN109726810A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 沈星辅 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G06N3/08 | 分类号： | G06N3/08;G06F17/50;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 尹淑梅;刘灿强 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种蚀刻效果预测方法和确定人工神经网络的输入参数的方法。该蚀刻效果预测方法包括：确定待预测蚀刻偏差的掩模图案的样本区域；确定表示对在样本区域中进行的蚀刻工艺有影响的物理特性的输入参数；对通过将输入参数输入到人工神经网络而获得的输出值与出现在样本区域中的蚀刻偏差的测量值进行比较；以及操作人工神经网络，直到输出值与测量值之间的差等于或小于预定参考值。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 人工神经网络 输入参数 效果预测 样本区域 测量 蚀刻工艺 物理特性 掩模图案 输出 参考 预测 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻效果预测方法，所述蚀刻效果预测方法包括下述步骤：确定待预测蚀刻偏差的掩模图案的样本区域；确定表示对在样本区域中进行的蚀刻工艺有影响的物理特性的输入参数；对通过将输入参数输入到人工神经网络而获得的输出值与出现在样本区域中的蚀刻偏差的测量值进行比较；以及允许人工神经网络学习，直到输出值与测量值之间的差等于或小于预定参考值。
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