[发明专利]曝光机的照明机构及其曝光方法

摘要

本发明提供一种曝光机的照明机构及其曝光方法，照明机构包括具有透镜切换系统的发光单元，透镜切换系统包括透镜固定部件、固定设置在所述透镜固定部件上的用于阵列基板制程的第一透镜、固定设置在透镜固定部件上的用于彩色滤光片制程的第二透镜、用于驱动透镜固定部件转动或移动的驱动部件以及电性连接于驱动部件的用于控制驱动部件启动的控制模块。通过透镜切换系统的设置，实现了第一透镜和第二透镜的切换操作，进而满足同一曝光机可以进行阵列基板制程和彩色滤光片制程，提高了设备的利用率。

主权项

1.一种曝光机的照明机构，包括用于提供光源的发光单元和用于将所述发光单元发出的光线投射于阵列基板或彩色滤光片基板的光投射单元，其特征在于，所述发光单元包括光源、用于将所述光源发出的光线反射至透镜切换系统的反射部件以及用于汇聚所述反射部件的光线并将光线发射至所述光投射单元的所述透镜切换系统，所述透镜切换系统包括：透镜固定部件，用于固定第一透镜和第二透镜；所述第一透镜，固定设置在所述透镜固定部件上，用于阵列基板制程；所述第二透镜，固定设置在所述透镜固定部件上，用于彩色滤光片制程；驱动部件，用于驱动所述透镜固定部件转动或移动，以实现所述第一透镜和所述第二透镜的位置切换；以及控制模块，用于控制所述驱动部件启动，电性连接于所述驱动部件。