[发明专利]曝光机的照明机构及其曝光方法有效

专利信息
申请号: 201810800821.1 申请日: 2018-07-20
公开(公告)号: CN109031891B 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 席运泽;范志翔 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 曝光 照明 机构 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种曝光机的照明机构,包括用于提供光源的发光单元和用于将所述发光单元发出的光线投射于阵列基板或彩色滤光片基板的光投射单元,其特征在于,所述发光单元包括光源、用于将所述光源发出的光线反射至透镜切换系统的反射部件以及用于汇聚所述反射部件的光线并将光线发射至所述光投射单元的所述透镜切换系统;

所述透镜切换系统包括:

透镜固定部件,用于固定第一透镜和第二透镜;

所述第一透镜,具有汇聚光线的作用,固定设置在所述透镜固定部件上,用于阵列基板制程;

所述第二透镜,具有汇聚光线的作用,固定设置在所述透镜固定部件上,用于彩色滤光片制程;

驱动部件,用于驱动所述透镜固定部件转动或移动,以实现所述第一透镜和所述第二透镜的位置切换;以及

控制模块,用于控制所述驱动部件启动,电性连接于所述驱动部件;

所述发光单元还包括一用于进行光路传递的且所述第一透镜或所述第二透镜在固定位置进行光传递的设定位,所述透镜切换系统包括一用于检查判断所述设定位上为所述第一透镜还是所述第二透镜的检测判断模块,所述检测判断模块电性连接于所述控制模块。

2.根据权利要求1所述的曝光机的照明机构,其特征在于,所述透镜固定部件包括一位于所述透镜固定部件中心位置的中心孔和分布在所述中心孔外圆周的至少两个固定孔;

所述驱动部件为驱动电机,所述驱动部件的转轴固定连接在所述中心孔内,用于驱动所述透镜固定部件旋转;所述第一透镜和第二透镜分别固定设置在所述固定孔内。

3.根据权利要求1所述的曝光机的照明机构,其特征在于,所述透镜固定部件包括对称设置在所述透镜固定部件上的两个固定孔、以及设置在所述透镜固定部件一侧的连接部;所述连接部的中心点位于两个所述固定孔中心点的连线的中垂线上;

所述驱动部件为驱动电机,所述驱动部件的转轴固定连接于所述连接部,用于驱动所述透镜固定部件翻转;所述第一透镜和第二透镜分别固定设置在所述固定孔内,且所述第一透镜的入光面的朝向和第二透镜的入光面的朝向相反。

4.根据权利要求1所述的曝光机的照明机构,其特征在于,所述透镜固定部件包括呈直线排布的设置在所述透镜固定部件上的两个固定孔、以及设置在所述透镜固定部件背面的螺母,所述透镜切换系统还包括一位于所述透镜固定部件两侧的底板、设置在所述底板上的导轨和设置在所述导轨之间的丝杆;

所述驱动部件为一驱动电机,所述驱动部件的转轴连接于所述丝杆,所述丝杆螺纹连接于所述螺母,所述透镜固定部件滑动设置在所述导轨上,所述第一透镜和第二透镜分别固定设置在所述固定孔内。

5.根据权利要求2-4任一项所述的曝光机的照明机构,其特征在于,所述固定孔的内壁设置有一沿着所述固定孔圆周方向延伸的环型的凹槽,所述第一透镜和第二透镜的外周壁均设置有一凸环;

所述凸环过盈设置在所述凹槽内。

6.根据权利要求1所述的曝光机的照明机构,其特征在于,所述第一透镜和第二透镜的曲率相同。

7.根据权利要求1所述的曝光机的照明机构,其特征在于,所述第一透镜为滤波透镜,所述第二透镜为隔热透镜。

8.一种基于权利要求1所述的曝光机的照明机构的曝光方法,其特征在于,所述曝光机的照明机构包括用于制作阵列基板的第一工作状态和用于制作彩色滤光片的第二工作状态;所述曝光方法包括以下步骤:

S1:控制模块获取工作信号,并将所述工作信号发送给检测判断模块,所述工作信号为启动所述第一工作状态的第一信号或启动所述第二工作状态的第二信号;

S2:所述检测判断模块判断位于所述设定位的透镜是否与相应所述工作信号匹配,并将相应的判断信号发送给所述控制模块;

S3:所述控制模块根据相应的判断信号,发送截止信号或启动信号给所述驱动部件;

S4:所述控制模块发出截止信号,则所述驱动部件不启动;所述控制模块发出启动信号,所述驱动部件启动,并驱动所述透镜固定部件转动或移动,以切换另一透镜位于所述设定位。

9.根据权利要求8所述的曝光方法,其特征在于,所述第一透镜和第二透镜的曲率相同。

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