[发明专利]用于SiC高温氧化工艺的工艺腔室及热处理炉有效
| 申请号： | 201810791938.8 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110736345B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 李旭刚;陈志兵;姜艳杰 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D5/00;F27D7/02;F27D9/00;F27D99/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于SiC高温氧化工艺的工艺腔室及热处理炉，该工艺腔室包括：筒状隔热装置，内部具有封闭的隔热空间；隔热板组件，包括多个沿竖直方向叠置在一起的隔热板；隔热板组件邻接设置在筒状隔热装置的上方；以及工艺舟，用于承载被加工工件；工艺舟邻接设置在隔热板组件的上方。本发明提供的用于SiC高温氧化工艺的工艺腔室，其不仅具有较高的使用温度、较小的炉腔体积，而且可以简化设备整体结构。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 sic 高温 氧化 工艺 热处理 | ||
【主权项】：
1.一种用于SiC高温氧化工艺的工艺腔室，其特征在于，包括：/n筒状隔热装置，内部具有封闭的隔热空间；/n隔热板组件，包括多个沿竖直方向叠置在一起的隔热板；所述隔热板组件邻接设置在所述筒状隔热装置的上方；以及/n工艺舟，用于承载被加工工件；所述工艺舟邻接设置在所述隔热板组件的上方。/n
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