[发明专利]一维InGaN/AlGaN多量子阱型的紫外LED及其制备方法有效
申请号: | 201810776377.4 | 申请日: | 2018-07-16 |
公开(公告)号: | CN108807622B | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 李国强 | 申请(专利权)人: | 河源市众拓光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/32;H01L33/00 |
代理公司: | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 秦维;汪卫军 |
地址: | 517000 广东省河*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一维InGaN/AlGaN多量子阱型的紫外LED及其制备方法,紫外LED包括衬底、自下至上依次生长在衬底上的一维AlN缓冲层、AlGaN缓冲层、GaN层、n‑GaN层、一维GaN/InGaN超晶格层、一维InGaN/AlGaN多量子阱层、电子阻挡层、p‑GaN层;所述一维AlN缓冲层、一维GaN/InGaN超晶格层及一维InGaN/AlGaN量子阱层均由一维材料生长而成。本发明充分利用一维材料相对于薄膜材料的优势,在特定层用一维材料代替薄膜材料,“过滤”量子阱前段产生的内应力,以降低量子阱层中的内应力与缺陷密度、提高量子阱层中电子与空穴的有效复合效率,从而提高紫外LED的光效。 | ||
搜索关键词: | ingan algan 多量 子阱型 紫外 led 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一维InGaN/AlGaN多量子阱型的紫外LED,其特征在于,包括衬底、自下至上依次生长在衬底上的AlN缓冲层、AlGaN缓冲层、GaN层、n‑GaN层、GaN/InGaN超晶格层、一维InGaN/AlGaN多量子阱层、电子阻挡层、p‑GaN层;所述一维InGaN/AlGaN量子阱层均由一维材料生长而成。
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