[发明专利]一种检查玻璃基板表面的方法在审
| 申请号： | 201810772334.9 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN108872259A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 干丛龙;李兆廷;石志强;李震;李俊生;张北斗;陈德青 | 申请（专利权）人： | 芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭集团有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 耿超;王浩然 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种检查玻璃基板表面的方法，该方法包括：S1、用水蒸气熏染待检查的玻璃基板的表面，使水蒸气在所述玻璃基板的表面冷凝为液态水；S2、若所述液态水连接成片状且均匀分布于所述玻璃基板表面，则所述玻璃基板表面无污染物；若所述液态水在所述玻璃基板表面凝结为水珠且呈颗粒状分布，则所述玻璃基板表面有污染物。通过本公开的检查玻璃基板表面的方法能更加准确、快速且方便地确认玻璃基板表面是否存在污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基板表面 液态水 水蒸气 玻璃基板 检查 污染物 表面冷凝 无污染物 成片状 颗粒状 水珠 凝结 | ||
【主权项】：
1.一种检查玻璃基板表面的方法，其特征在于，该方法包括：S1、用水蒸气熏染待检查的玻璃基板的表面，使水蒸气在所述玻璃基板的表面冷凝为液态水；S2、若所述液态水连接成片状且均匀分布于所述玻璃基板表面，则所述玻璃基板表面无污染物；若所述液态水在所述玻璃基板表面凝结为水珠且呈颗粒状分布，则所述玻璃基板表面有污染物。
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