[发明专利]一种检查玻璃基板表面的方法在审
申请号: | 201810772334.9 | 申请日: | 2018-07-13 |
公开(公告)号: | CN108872259A | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 干丛龙;李兆廷;石志强;李震;李俊生;张北斗;陈德青 | 申请(专利权)人: | 芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭集团有限公司 |
主分类号: | G01N21/94 | 分类号: | G01N21/94;G01N21/88 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 耿超;王浩然 |
地址: | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃基板表面 液态水 水蒸气 玻璃基板 检查 污染物 表面冷凝 无污染物 成片状 颗粒状 水珠 凝结 | ||
本公开涉及一种检查玻璃基板表面的方法,该方法包括:S1、用水蒸气熏染待检查的玻璃基板的表面,使水蒸气在所述玻璃基板的表面冷凝为液态水;S2、若所述液态水连接成片状且均匀分布于所述玻璃基板表面,则所述玻璃基板表面无污染物;若所述液态水在所述玻璃基板表面凝结为水珠且呈颗粒状分布,则所述玻璃基板表面有污染物。通过本公开的检查玻璃基板表面的方法能更加准确、快速且方便地确认玻璃基板表面是否存在污染物。
技术领域
本公开涉及玻璃基板生产技术领域,具体地,涉及一种检查玻璃基板表面的方法。
背景技术
玻璃基板表面污染是玻璃基板生产过程中的重点管控项目,玻璃表面污染将严重影响面板生产工艺;以往玻璃表面污染的检测主要靠人工肉眼观察及检查机的检测;对于某些表面脏污,人工检查与检查机检测均无法及时发现、拦截,从而导致不合格品漏检,使得下游客户产生不必要的损失。如何能更加精准、快速地对玻璃基板表面进行检测,以确认玻璃基板表面是否存在污染物是目前亟待解决的技术问题。
发明内容
本公开的目的是提供一种检查玻璃基板表面的方法,该方法能简单、准确地判断玻璃基板表面是否存在污染物。
本公开提供一种检查玻璃基板表面的方法,该方法包括:S1、用水蒸气熏染待检查的玻璃基板的表面,使水蒸气在所述玻璃基板的表面冷凝为液态水;S2、若所述液态水连接成片状且均匀分布于所述玻璃基板表面,则所述玻璃基板表面无污染物;若所述液态水在所述玻璃基板表面凝结为水珠且呈颗粒状分布,则所述玻璃基板表面有污染物。
可选地,步骤S1和步骤S2在百级洁净间内进行。
可选地,步骤S1中所述水蒸气通过挂烫机产生。
可选地,进行步骤S1和步骤S2时,所述玻璃基板水平放置,且所述玻璃基板待检查的表面朝上。
可选地,步骤S2在暗室内光照下进行。
可选地,步骤S2在进行光照时,用于发射光线的光源位于所述玻璃基板待检查的表面上方。
可选地,通过眼睛观测完成步骤S2。
可选地,眼睛在进行观测时,眼睛与所述玻璃基板待检查的表面之间的距离在0.5m以内。
通过本公开的检查玻璃基板表面的方法能简单、快速并且更加准确地确认玻璃基板表面是否存在污染物,能提高玻璃基板检测的工作效率,避免玻璃基板表面污染物的漏检。
本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
具体实施方式
以下对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开,并不用于限制本公开。
本公开提供一种检查玻璃基板表面的方法,该方法包括:S1、可以用水蒸气熏染待检查的玻璃基板的表面,可以使水蒸气在所述玻璃基板的表面冷凝为液态水;S2、若所述液态水连接成片状且均匀分布于所述玻璃基板表面,则所述玻璃基板表面无污染物;若所述液态水在所述玻璃基板表面凝结为水珠且呈颗粒状分布,则所述玻璃基板表面有污染物。
通过本公开的方法检查玻璃基板的表面时,首先可以将待检查的玻璃基板放入洁净的检测环境中,用水蒸气熏染待检查的玻璃基板的表面;水蒸气遇到玻璃基板表面会冷凝为液态水,若玻璃基板表面形成的液态水连接成片状且均匀分布于玻璃表面,则说明玻璃基板表面没有污染物存在;若水蒸气在玻璃表面形成的液态水凝聚为水珠,且水珠呈颗粒状分布,也可以说多个水珠分别呈各自独立的状态的分布,则说明玻璃基板表面有污染物。
根据本公开,步骤S1和步骤S2可以在百级洁净间内进行。在洁净的环境中进行所述步骤S1和S2可以减少空气中污染物对检测过程的干扰,能够提高检测结果的准确性。
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