[发明专利]一种下限为10-10Pam3/s的正压漏孔校准系统与方法在审
| 申请号： | 201810772049.7 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN108982021A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 卢耀文;刘志宏;齐京;杨传森;田虎林;董云宁;闫睿;延峰 | 申请（专利权）人： | 北京东方计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京善任知识产权代理有限公司 11650 | 代理人： | 高杰;陈艳 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是一种下限为10‑10Pam3/s的正压漏孔校准系统与方法，该系统包括：分子泵抽气系统、一个高纯氦气瓶、一个高纯氮气瓶、一个气体采样阀门(V4)、十个真空阀门(V1，V2，V3，V5，V6，V7，V8，V9，V10，V11)、三个真空室(VC1，VC2，VC3)、三个真空计(G1，G2，G3)、一个四极质谱仪(G4)、一个分子流进样元件(C)、一个吸气剂泵(NEG)、一个被校正压漏孔和一个恒温箱。 | ||
| 搜索关键词： | 漏孔 校准系统 正压 分子泵抽气系统 四极质谱仪 高纯氮气 高纯氦气 进样元件 气体采样 吸气剂泵 真空阀门 分子流 恒温箱 真空计 真空室 阀门 校正 | ||
【主权项】：
1.一种下限为10‑10Pam3/s的正压漏孔校准系统，其特征在于，该系统包括：分子泵抽气系统、一个高纯氦气瓶、一个高纯氮气瓶、一个气体采样阀门(V4)、十个真空阀门(V1，V2，V3，V5，V6，V7，V8，V9，V10，V11)、三个真空室(VC1，VC2，VC3)、三个真空计(G1，G2，G3)、一个四极质谱仪(G4)、一个分子流进样元件、一个吸气剂泵、一个被校正压漏孔和一个恒温箱，该系统中，分子泵抽气系统通过第一真空阀门(V1)、第二真空阀门(V2)与气体采样阀门(V4)入口相连接，抽气系统通过第三真空阀门(V3)、第五真空阀门(V5)与气体采样阀门(V4)的出口连接，高纯氦气瓶通过第二真空阀门(V2)与第一真空计(G1)和气体采样阀门(V4)入口连接，高纯氮气瓶通过第五真空阀门(V5)与气体采样阀门(V4)出口连接，气体采样阀门(V4)的出口与第二真空计(G2)、第六真空阀门(V6)、第七真空阀门(V7)和第八真空阀门(V8)连接，第六真空阀门(V6)另一端与真空室(VC1)相连接，第七真空阀门另一端与安装于恒温室内的被校正压漏孔相连接，第八真空阀门(V8)另一端与第九真空阀门和分子流进样元件分别相连接，第九真空阀门(V9)和分子流进样元件的另一端均与质谱分析室(VC2)相连接，第三真空计(G3)和四极质谱分析仪(G4)安装在质谱分析室(VC2)上，分子泵抽气系统和吸气剂泵分别通过第十真空阀门(V10)、第十一真空阀门(V11)与质谱分析室(VC2)连接。
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