[发明专利]冷凝机构及减压干燥装置有效
申请号: | 201810757749.9 | 申请日: | 2018-07-11 |
公开(公告)号: | CN110421977B | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 柳开郎 | 申请(专利权)人: | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
主分类号: | B41J3/407 | 分类号: | B41J3/407;B41J11/00;B41J29/377 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 林青中 |
地址: | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种冷凝机构及减压干燥装置,所述冷凝机构包括冷凝基板和冷凝活动板,所述冷凝基板的一面为冷凝面,所述冷凝面用于朝向所述样品台设置,所述冷凝活动板位于所述冷凝基板与所述样品台之间且具有第一状态和第二状态,所述第一状态为所述冷凝活动板贴合于所述冷凝面的状态,所述第二状态为所述冷凝活动板不贴合于所述冷凝面的状态。使用该冷凝机构时,可将与喷墨打印起始区域对应的冷凝活动板切换为第二状态,从而玻璃基板上与冷凝活动板对应的区域的有机溶剂蒸发速度小于其他区域。这样可以将整面玻璃基板上的蒸发状况差异降低,从而保证了在减压干燥工艺时的成膜均匀性。 | ||
搜索关键词: | 冷凝 机构 减压 干燥 装置 | ||
【主权项】:
1.一种冷凝机构,用于对放置在减压干燥装置内的样品台上的样品进行冷却,其特征在于,所述冷凝机构包括冷凝基板和冷凝活动板,所述冷凝基板的一面为冷凝面,所述冷凝面用于朝向所述样品台设置,所述冷凝活动板位于所述冷凝基板与所述样品台之间且具有第一状态和第二状态,所述第一状态为所述冷凝活动板贴合于所述冷凝面的状态,所述第二状态为所述冷凝活动板不贴合于所述冷凝面的状态。
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