[发明专利]冷凝机构及减压干燥装置

说明书

本发明涉及一种冷凝机构及减压干燥装置，所述冷凝机构包括冷凝基板和冷凝活动板，所述冷凝基板的一面为冷凝面，所述冷凝面用于朝向所述样品台设置，所述冷凝活动板位于所述冷凝基板与所述样品台之间且具有第一状态和第二状态，所述第一状态为所述冷凝活动板贴合于所述冷凝面的状态，所述第二状态为所述冷凝活动板不贴合于所述冷凝面的状态。使用该冷凝机构时，可将与喷墨打印起始区域对应的冷凝活动板切换为第二状态，从而玻璃基板上与冷凝活动板对应的区域的有机溶剂蒸发速度小于其他区域。这样可以将整面玻璃基板上的蒸发状况差异降低，从而保证了在减压干燥工艺时的成膜均匀性。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种冷凝机构及减压干燥装置。

背景技术

在生产上，OLED中某些功能材料可以采用喷墨打印工艺制作，例如空穴注入层(HIL)，空穴传输层(HTL)，发光层材料(EML)等。如图1所示，即通过喷墨打印头120用喷墨打印的方式将功能层材料墨水130打印到像素坑110内。OLED器件效率的影响因素中，各功能层材料的成膜均匀性是很重要的考察点。OLED器件制作工艺中对墨水材料成膜的均匀性影响较大的一个步骤即是减压干燥工艺，墨水中的溶剂成分挥发速率以及腔体内的气压控制等对墨水材料成膜的均匀性有重要影响。

目前针对小尺寸的玻璃基板，喷墨打印工艺中的制程时间比较短，例如进行空穴注入层(HIL)喷墨打印时，一个墨水填充元件就可以完成打印，并且在小尺寸的玻璃基板上起始打印的时间和结束打印的时间相差不是太长，这样同一层的墨水在打印完成后各区域干燥程度差异不大。但是如图2所示，针对大尺寸的玻璃基板140时，先进行喷墨打印的区域A和后进行喷墨打印的区域B因为间隔时间过长，导致墨水材料的干燥程度差异过大，后续进行减压干燥处理后，会出现成膜膜质不均匀。

发明内容

基于此，有必要提供一种能够在减压干燥过程中提高成膜均匀性的冷凝机构。

一种冷凝机构，用于对放置在减压干燥装置内的样品台上的样品进行冷却，所述冷凝机构包括冷凝基板和冷凝活动板，所述冷凝基板的一面为冷凝面，所述冷凝面用于朝向所述样品台设置，所述冷凝活动板位于所述冷凝基板与所述样品台之间且具有第一状态和第二状态，所述第一状态为所述冷凝活动板贴合于所述冷凝面的状态，所述第二状态为所述冷凝活动板不贴合于所述冷凝面的状态。

使用本发明的冷凝机构对放置在减压干燥装置的样品台上的玻璃基板进行冷却时，可将与喷墨打印起始区域对应的冷凝活动板切换为第二状态，即冷凝活动板与冷凝基板不贴合，此时冷凝活动板至少部分与冷凝基板分离，于是冷凝活动板的温度高于冷凝基板。那么冷凝活动板与玻璃基板之间的温差小于冷凝基板与玻璃基板之间的温差，从而玻璃基板上与冷凝活动板对应的区域，即喷墨打印起始区域的有机溶剂蒸发速度小于其他区域。这样可以将整面玻璃基板上的蒸发状况差异降低，避免了玻璃基板上不同区域干燥氛围差异过大的问题，从而保证了在减压干燥工艺时的成膜均匀性。

在其中一个实施例中，还包括驱动件，所述驱动件与所述冷凝活动板连接以用于驱动所述冷凝活动板在所述第一状态和所述第二状态切换。

在其中一个实施例中，所述冷凝活动板能相对所述冷凝基板在所述冷凝基板与所述样品台之间转动。

在其中一个实施例中，所述冷凝活动板相对所述冷凝基板可转动的幅度小于等于45°。

在其中一个实施例中，所述冷凝活动板的数量为多个，多个所述冷凝活动板沿所述冷凝面的延伸方向紧密排列，所述驱动件的数量为多个且与所述冷凝活动板一一对应连接。

在其中一个实施例中，还包括固定板，所述固定板位于所述冷凝基板远离所述冷凝活动板的一侧，所述驱动件安装于所述固定板上。

在其中一个实施例中，所述冷凝活动板可相对所述冷凝基板平行移动以使所述冷凝活动板在所述第一状态和所述第二状态切换。