[发明专利]一种提高太阳能热效率的太阳能集热器膜的制备工艺在审
| 申请号： | 201810755538.1 | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN108870783A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 汤宝田 | 申请（专利权）人： | 南通金阳太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | F24S70/20 | 分类号： | F24S70/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226500 江苏省南通市如皋市如城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种提高太阳能热效率的太阳能集热器膜的制备工艺，其步骤是：步骤一、选取透明平板玻璃或钢化玻璃作为基体；步骤二、采用磁控溅射镀膜法在真空度3×11‑4 Pa、基体负偏压80V、腔体压强0.9 Pa、气体中氩气:氧气的体积比为3:1的条件下，对基体表层镀设二氧化钛膜层，保持基体温度在80℃～100℃，通入氮气沉积，制得氮掺杂钛基化合物膜层；步骤三、采用磁控溅射镀膜法在真空度4×15Pa、基体负偏压110V、工艺气体为氩气的条件下，对氮掺杂钛基化合物膜层表面镀设疏水型纳米二氧化硅膜层，保持基体温度在80℃～105℃进行沉积，制得硅基化合物膜层。本发明具有自清洁性能，耐用性好，降低集热器成本，提高太阳能利用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 膜层 磁控溅射镀膜法 太阳能集热器 基体负偏压 钛基化合物 热效率 氩气 制备工艺 氮掺杂 镀设 沉积 太阳能 钢化玻璃 疏水型纳米二氧化硅 太阳能利用效率 氮气 二氧化钛膜层 透明平板玻璃 硅基化合物 自清洁性能 工艺气体 基体表层 膜层表面 腔体压强 集热器 耐用性 体积比 氧气 | ||
【主权项】：
1.一种提高太阳能热效率的太阳能集热器膜的制备工艺，其特征是，该减反射膜包括复合的氮掺杂钛基化合物膜层和硅基化合物膜层，具体制备步骤如下：步骤一、选取透明平板玻璃或钢化玻璃作为基体；步骤二、采用磁控溅射镀膜法在真空度3×11‑4 Pa、基体负偏压80V、腔体压强0.9 Pa、气体中氩气:氧气的体积比为3:1的条件下，对基体表层镀设二氧化钛膜层，保持基体温度在80℃～100℃，通入氮气沉积，制得氮掺杂钛基化合物膜层；步骤三、采用磁控溅射镀膜法在真空度4×15Pa、基体负偏压110V、工艺气体为氩气的条件下，对氮掺杂钛基化合物膜层表面镀设疏水型纳米二氧化硅膜层，保持基体温度在80℃～105℃进行沉积，制得硅基化合物膜层。
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