[发明专利]一种燃料电池双极板表面防护涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201810753049.2 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN108914060B | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 武俊伟;赵明华;程经轩;汪选林 | 申请（专利权）人： | 深圳森丰真空镀膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;H01M8/0228 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 徐罗艳 |
| 地址： | 518106 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种燃料电池双极板表面防护涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、设置镀膜室的靶材配置为一对Cr靶和一对Ta靶，并将Ta靶和Cr靶分别放置在镀膜设备的两端；S2、将燃料电池双极板的基底材料放入所述镀膜室中，采用等离子体增强磁控溅射技术进行真空镀膜，在所述燃料电池双极板的表面沉积CrN/TaN超晶格膜层。与现有技术相比，本发明充分结合氮化铬的耐腐蚀性、氮化钽的硬度和耐腐蚀性，复合后的多层膜在耐腐蚀性、韧性和耐磨性方面都有大幅提升，在表面制备的贵金属或非晶碳膜可以提供优异的导电性，从而可以满足燃料电池金属双极板的高导电耐蚀和长时间使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 燃料电池 极板 表面 防护 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种燃料电池双极板表面防护涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、设置镀膜室的靶材配置为一对Cr靶和一对Ta靶，并将Ta靶和Cr靶分别放置在镀膜设备的两端；S2、将燃料电池双极板的基底材料放入所述镀膜室中，采用等离子体增强磁控溅射技术进行真空镀膜，在所述燃料电池双极板的表面沉积CrN/TaN超晶格膜层。
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