[发明专利]一种燃料电池双极板表面防护涂层的制备方法

权利要求书

1.一种燃料电池双极板表面防护涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、设置镀膜室的靶材配置为一对Cr靶和一对Ta靶，并将Ta靶和Cr靶分别放置在镀膜设备的两端；

S2、将燃料电池双极板的基底材料放入所述镀膜室中，采用等离子体增强磁控溅射技术进行真空镀膜，在所述燃料电池双极板的表面沉积CrN/TaN超晶格膜层；

在CrN/TaN超晶格膜层表面沉积一层贵金属或非晶碳膜；

其中，步骤S2具体包括：

S21、将燃料电池双极板的基底材料放入经步骤S1进行靶材配置的镀膜室中进行加热并抽真空，加热到预设温度并保温；

S22、向保温的所述镀膜室中通入氩气，并设置基体偏压为-800V，然后进行辉光清洗；

S23、调整氩气的进气量，使所述镀膜室的气压达到0.3～1.0Pa，并设置基体偏压为-100V，开启镀膜电源沉积纯Cr层；

S24、通入氮气，同时开启Cr靶和Ta靶，Cr靶和Ta靶的中频镀膜电源电流设定为20～100A，沉积CrN/TaN超晶格层10～60分钟，结束镀膜。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述基底材料为钛合金或不锈钢材质。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述基底材料在放入镀膜室之前先进行超声清洗。

4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤S21中抽真空至0.001Pa，保温温度为200℃。

5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤S22中通入氩气的流量为200sccm，辉光清洗时间为30min。

6.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤S23中开启中频镀膜电源电流为20～100A，沉积纯Cr层5～30分钟。