[发明专利]一种红外辐射传感器在审
申请号: | 201810751673.9 | 申请日: | 2018-07-10 |
公开(公告)号: | CN109084901A | 公开(公告)日: | 2018-12-25 |
发明(设计)人: | 吴青山;郑延景 | 申请(专利权)人: | 深圳市眼景科技有限公司 |
主分类号: | G01J5/02 | 分类号: | G01J5/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 公开了一种辐射传感器。该辐射传感器包括衬底;位于衬底上的膜片;具有吸收红外辐射的吸收层;所述吸收层与所述隔膜之间的支撑元件,所述吸收层与所述隔膜之间形成间隔间隙;其中间隙的大小在3.6微米到100微米之间。 | ||
搜索关键词: | 吸收层 辐射传感器 衬底 隔膜 红外辐射传感器 红外辐射 间隔间隙 支撑元件 膜片 吸收 | ||
【主权项】:
1.一种辐射传感器,包括:衬底;位于衬底上的隔膜;吸收层,其被配置为吸收红外辐射;布置在吸收层和隔膜之间的支撑元件,使得吸收层和隔膜之间形成间隔;其中间隔间隙的大小在约3.6微米至约100微米的范围内。
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