[发明专利]一种红外辐射传感器在审
| 申请号： | 201810751673.9 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN109084901A | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 吴青山;郑延景 | 申请（专利权）人： | 深圳市眼景科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吸收层 辐射传感器 衬底 隔膜 红外辐射传感器 红外辐射 间隔间隙 支撑元件 膜片 吸收 | ||
1.一种辐射传感器，包括：衬底；位于衬底上的隔膜；吸收层，其被配置为吸收红外辐射；布置在吸收层和隔膜之间的支撑元件，使得吸收层和隔膜之间形成间隔；其中间隔间隙的大小在约3.6微米至约100微米的范围内。
2.根据权利要求1所述的辐射传感器，其中所述隔膜包括热电堆结构。
3.根据权利要求2所述的辐射传感器，其中，所述热电堆结构具有热接点和冷接点，所述支撑元件与所述热电堆结构的热接点接触。
4.根据权利要求1所述的辐射传感器，其中所述间隔间隙的大小在约5微米至约100微米的范围内。
5.根据权利要求1所述的辐射传感器，其中所述隔膜具有通过所述支撑元件到所述吸收层的热连接。
6.根据权利要求1所述的辐射传感器，其中所述支撑元件由导电材料制成。
7.根据权利要求6所述的辐射传感器，其中所述支撑元件是实心的或空心的。
8.根据权利要求2所述的辐射传感器，其中在所述吸收层与所述衬底之间形成第一腔体，所述第一腔体包封所述热电堆结构和所述支撑元件。
9.根据权利要求8所述的辐射传感器，其中所述第一腔体是真空的。
10.根据权利要求1所述的辐射传感器，还包括形成在所述衬底中的第二腔体，其中所述隔膜横跨所述第二腔体悬挂。
11.根据权利要求10所述的辐射传感器，其中所述第二腔体是真空的。
12.根据权利要求1所述的辐射传感器，其中，所述吸收层以伞型结构覆盖所述隔膜。
13.一种辐射传感器，包括：衬底；位于衬底上的隔膜；吸收层，其被配置为吸收红外辐射；支撑元件，其布置在所述吸收层与所述隔膜之间，使得所述吸收层相对于所述隔膜具有间隔开的关系；在吸收层和衬底之间形成的第一腔体，第一腔体是真空的。
14.根据权利要求13所述的辐射传感器，还包括形成在所述衬底中的第二腔，其中所述隔膜横跨所述第二腔悬挂。
15.根据权利要求14所述的辐射传感器，其中所述第二腔体是真空的。
16.根据权利要求13所述的辐射传感器，其中所述隔膜包括热电堆结构。
17.根据权利要求16所述的辐射传感器，其中所述热电堆结构具有热连接点和冷连接点，所述支撑元件与所述热电堆结构的热连接点接触。
18.根据权利要求13所述的辐射传感器，其中所述隔膜具有通过所述支撑元件到所述吸收层的热连接。
19.根据权利要求13所述的辐射传感器，其中所述支撑元件由导电材料制成。
20.根据权利要求19所述的辐射传感器，其中所述支撑元件是固体或非固体。
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