[发明专利]混合电镀液中添加剂的控制方法、系统以及存储介质

摘要

本发明公开了一种混合电镀液中添加剂的控制方法，利用了电镀添加剂在不同电位下的吸附率会产生变化，从而多种电镀添加剂受电位影响产生的相互作用也不相同的这一原理，通过实验确定了多种电镀添加剂在各电位下协同、竞争或取代的关系，并将该关系具体表达为第三本构方程，根据第三本构方程控制各电镀添加剂的量就能准确得到所需的吸附率，该方法具有能准确控制多种电镀添加剂吸附率和避免电镀缺陷等优点。本发明还相应公开了一种能实现该方法的控制系统以及一种能实现该方法的计算机存储介质，同样具有以上方法所具备的优点。

主权项

1.一种混合电镀液中添加剂的控制方法，其特征在于：包含以下步骤：S1：确定由至少三种电镀添加剂组成的混合电镀液，且各电镀添加剂在同一电位、同一浓度的混合液中的吸附率不同、且各电镀添加剂分别在至少一个不同的电位段呈主导作用；S2：将混合电镀液中的每种电镀添加剂分别进行单种的第一电镀实验，通过采样数据的拟合得到每种电镀添加剂的浓度、吸附率和电位之间关系的第一本构方程；S3：将混合电镀液中的电镀添加剂分别进行两两混合的第二电镀实验，通过采样数据的拟合得到电镀添加剂两两混合后的浓度、吸附率和电位之间关系的第二本构方程；S4：根据第一本构方程和各组合对应的第二本构方程推导出混合电镀液的第三本构方程，并对所述第三本构方程进行第三电镀实验校验，根据检验之后的第三本构方程求解所需电位下，所需各种电镀添加剂的吸附率所对应的混合电镀添加剂的量。