[发明专利]一种基于石墨烯材料的原子氧传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810745850.2 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN109060894A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 黄一凡;甄小娟;庄建宏;郭睿;张剑锋;薛玉雄;杨生胜 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 代丽;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于石墨烯材料的原子氧传感器及其制备方法。使用本发明能够有效实现原子氧通量测量，且具有比表面积大、敏感度高、剥蚀率稳定、无毒性、低成本且制备工艺简单的优点。本发明的原子氧传感器采用还原型氧化石墨烯薄膜作为原子氧传感器的敏感层，利用还原型氧化石墨烯薄膜的疏松多孔结构，可以充分与空间原子氧相接处，利用rGO材料中C原子与O原子相互作用后生成COx挥发型气体脱离敏感膜，导致还原型氧化石墨烯材料的电阻变化这一特性，通过测试电阻的变化过程就可以动态的获得空间环境中的原子氧的浓度。由于rGO有较大的比表面积以及石墨烯材料对于电阻变化的高灵敏，对于空间环境中原子氧探测来说具有较高的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 原子氧传感器 石墨烯材料 还原型 原子氧 氧化石墨烯薄膜 电阻变化 空间环境 制备 疏松多孔结构 氧化石墨烯 原子氧通量 变化过程 测试电阻 气体脱离 有效实现 制备工艺 低成本 动态的 灵敏度 敏感层 敏感度 敏感膜 无毒性 相接处 剥蚀 挥发 灵敏 探测 测量 | ||
【主权项】：
1.一种基于石墨烯材料的原子氧传感器，包括基底、电极和敏感层，其特征在于，所述原子氧传感器的敏感层为还原型氧化石墨烯薄膜。
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