[发明专利]一种基于石墨烯材料的原子氧传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810745850.2 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN109060894A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 黄一凡;甄小娟;庄建宏;郭睿;张剑锋;薛玉雄;杨生胜 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 代丽;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 原子氧传感器 石墨烯材料 还原型 原子氧 氧化石墨烯薄膜 电阻变化 空间环境 制备 疏松多孔结构 氧化石墨烯 原子氧通量 变化过程 测试电阻 气体脱离 有效实现 制备工艺 低成本 动态的 灵敏度 敏感层 敏感度 敏感膜 无毒性 相接处 剥蚀 挥发 灵敏 探测 测量 | ||
1.一种基于石墨烯材料的原子氧传感器，包括基底、电极和敏感层，其特征在于，所述原子氧传感器的敏感层为还原型氧化石墨烯薄膜。
2.如权利要求1所述的基于石墨烯材料的原子氧传感器，其特征在于，所述基底为刚性基底或柔性基底。
3.如权利要求2所述的基于石墨烯材料的原子氧传感器，其特征在于，所述刚性基底采用Si、SiO2、Al2O3或SiC制备而成；所述柔性基底采用聚四氟乙烯、环氧树脂、聚酰亚胺或聚碳酸酯制备而成。
4.如权利要求1所述的基于石墨烯材料的原子氧传感器，其特征在于，还包括温控电极，所述温控电极制备在基底的下方。
5.如权利要求4所述的基于石墨烯材料的原子氧传感器，其特征在于，所述温控电极由金属材料制备而成；所述温控电极的温控范围为：25℃～40℃。
6.一种如权利要求1～3任意一项所述的基于石墨烯材料的原子氧传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1，对基底进行清洗、干燥；在基底上制备电极；
步骤2，制备还原型氧化石墨烯；
步骤3，将步骤2制备的还原型氧化石墨烯涂敷在步骤1制备好电极的基底上。
7.如权利要求7所述的制备方法，其特征在于，采用光刻掩膜法将图形化的电极沉积在基底表面。
8.如权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述步骤3中，采用旋涂、喷涂、刮膜或压印的方法将步骤2制备的还原型氧化石墨烯涂敷在步骤1制备好电极的基底上。
9.如权利要求7所述的制备方法，其特征在于，还原型氧化石墨烯的制备方法如下：
步骤2.1、采用Brodie法、Staudenmaier法或Hummers法制备氧化石墨烯；
步骤2.2，针对步骤2.1制备的氧化石墨烯，采用化学法、高温热还原法、低温热还原法、微波法或电化学法制备得到还原型氧化石墨烯。
10.如权利要求9所述的制备方法，其特征在于，将步骤2.2制备得到的还原型氧化石墨烯与高聚物或胶黏剂进行共混，将共混后的还原型氧化石墨烯涂敷在步骤1制备好电极的基底上。
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