[发明专利]一种致密型耐腐蚀低辐射膜材料的制备方法

摘要

本发明涉及一种致密型耐腐蚀低辐射膜材料的制备方法，属于膜材料技术领域。本发明采用制备二氧化锡材料并通过分散剂包覆在胶粒表面形成的包覆层起空间位阻的作用，使得颗粒间的范德华力大大减弱，同时本发明通过二氧化锡与硅溶胶复合制备靶材材料，通过二氧化锡材料在硅溶胶中形成贯穿结构并在使用过程中，TiNx形成不饱和的键，在空气中会与O慢慢结合形成Ti－N－O及Ti－O键，在TiNx薄膜内膨胀，其表面产生压应力，故TiNx薄膜表面致密，这种结果对涂层表面有闭合作用，能阻止其进一步的氧化侵蚀，提高材料的耐腐蚀性能。本发明中溅射制备要控制基材与靶材之间距离、氮气流量，控制改性靶材溅射功率，溅射改性薄膜后，增压通入氮气并调节流量。

主权项

1.一种致密型耐腐蚀低辐射膜材料的制备方法，其特征在于具体制备步骤为：（1）按重量份数计，分别称量45～50份无水乙醇、3～5份硝酸镱、10～15份氯化锡、3～5份十六烷基三甲基溴化铵置于烧杯中，搅拌混合并静置6～8h，收集混合溶液；（2）按质量比1：10，对混合溶液中滴加氨水，待滴加完成后，静置陈化，离心分离，收集下层凝胶并洗涤，收集凝胶液；（3）按重量份数计，分别称量45～50份无水乙醇、10～15份质量分数25％醋酸和10～15份钛酸四丁酯置于烧杯中，搅拌混合得基体液，再按重量份数计，分别称量45～50份去离子水、10～15份无水乙醇和10～15份质量分数1％硝酸搅拌混合得改性液，再按质量比1：3，将改性液滴加至基体液中，待滴加完成后，搅拌混合并静置，收集得基体溶胶液；（4）按质量比1：1，将基体溶胶液与凝胶液搅拌混合并浇注至模具中，将模具干燥后升温加热并保温煅烧，静置冷却至室温，得改性靶材；（5）取洁净的载玻片并溅射制备，即可得所述的致密型耐腐蚀低辐射膜材料。