[发明专利]光学对准标记、光学定位方法以及半导体器件有效
| 申请号： | 201810729606.7 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN108878401B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 屠礼明;周毅 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 周全 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学对准标记、光学定位方法以及半导体器件。该光学对准标记包括：主识别部，所述主识别部为中心对称图形，且具有沿至少两个方向的线条；以及至少一个辅助识别部，该辅助识别部为中心对称图形，且具有与所述主识别部相同的对称中心，该辅助识别部具有至少两个线条，且所述辅助识别部的线条的线宽与所述主识别部的线条的线宽不同。因此，当主识别部或辅助识别部的其中一方未被测量设备识别时，另一方仍有可能被测量设备识别，从而能提高光学对准标记的识别度，达到光学对准的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 对准 标记 定位 方法 以及 半导体器件 | ||
【主权项】：
1.一种光学对准标记，其特征在于，包括：主识别部，所述主识别部为中心对称图形，且具有沿至少两个方向的线条；以及至少一个辅助识别部，该辅助识别部为中心对称图形，且具有与所述主识别部相同的对称中心，该辅助识别部具有至少两个线条，且所述辅助识别部的线条的线宽与所述主识别部的线条的线宽不同。
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