[发明专利]一种缺陷检测装置及缺陷检测方法有效
| 申请号： | 201810696844.2 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN110658196B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 杨晓青;申永强;韩雪山;王帆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种陷检测装置及缺陷检测方法。该缺陷检测装置包括照明模块和成像检测模块；照明模块用于产生探测光束，并使探测光束入射至待测产品的检测面上；成像检测模块用于检测探测光束是否经待测产品的检测面散射产生散射成像光束，并根据散射成像光束确定待测产品的缺陷信息；探测光束的照度满足：(U1×R)/(U2×L)≥S1；探测光束的半宽W满足：d×[tanα+tanβ]＞FOV/2+W。本实施例通过确定探测光束的半宽边缘与探测光束的中心之间的相对照度和探测光束的半宽确定照明模块产生的探测光束，以达到抑制缺陷检测过程中产生的串扰，提高缺陷检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括照明模块和成像检测模块；/n所述照明模块用于产生探测光束，并使所述探测光束入射至待测产品的检测面上；所述成像检测模块用于检测所述探测光束是否经所述待测产品的检测面散射产生散射成像光束，并根据所述散射成像光束确定所述待测产品的缺陷信息；/n其中，所述探测光束的照度满足：(U1×R)/(U2×L)≥S1；其中，S1为抑制所述待测产品的非检测面的串扰需要满足的信噪比，U1为所述探测光束的中心照度，R为最小可检测缺陷在可被接收角度内对光线的散射效率，U2为所述探测光束的半宽边缘的照度，L为所述非检测面上的最大串扰物在可被接收角度内对光线的散射效率；/n所述探测光束的半宽W满足：d×(tanα+tanβ)＞FOV/2+W；/n其中，d为所述待测产品的厚度；FOV为所述成像检测模块的有效视场；α为探测光束在所述待测产品中的折射角，β为所述散射成像光束在所述待测产品中的折射角。/n
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