[发明专利]一种用于硅锭加工的硅片运输装置

摘要

本发明涉及硅片运输设备领域，尤其涉及一种用于硅锭加工的硅片运输装置，包括集装部分和升降部分；所述集装部分包含集装箱、移动轮，且所述集装箱的顶部设置防护顶板；所述防护顶板的底部通过连接绳连接若干个托板，且所述托板的两侧开设于若干个第二凹槽；所述防护顶板的底部开设第一凹槽；所述连接绳的底部连接底板，且所述底板的顶表面开设第三凹槽；所述升降部分包含壳体、电机，且所述电机连接齿轮；所述齿轮啮合齿板，且所述齿板插入到集装箱侧壁的插槽内部；且所述齿板的顶部固定所述防护顶板；所述壳体的外侧设置开关。本发明可实现将多个硅片平行并隔开的进行固定，避免硅片之间相互摩擦和碰撞，降低运输中的破碎率。

主权项

1.一种用于硅锭加工的硅片运输装置，包括集装部分和升降部分；其特征在于：所述集装部分包含集装箱(4)，所述集装箱(4)的底部安装移动轮(5)，且所述集装箱(4)的顶部设置防护顶板(6)；所述防护顶板(6)的底部通过连接绳(8)连接若干个托板(7)，且所述托板(7)的两侧开设有若干个第二凹槽(701)；所述防护顶板(6)的底部开设第一凹槽(601)，且所述第一凹槽(601)与所述第二凹槽(701)在一条水平线上；所述连接绳(8)的底部连接底板(12)，且所述底板(12)的顶表面开设第三凹槽(1201)；所述第三凹槽(1201)与所述第二凹槽(701)在一条水平线上；所述升降部分包含壳体(9)，所述壳体(9)的内部安装电机(17)，且所述电机(17)连接齿轮(16)；所述齿轮(16)啮合齿板(1)，且所述齿板(1)插入到集装箱(4)侧壁的插槽(401)内部；且所述齿板(1)的顶部固定所述防护顶板(6)；所述壳体(9)的外侧设置开关(3)，且所述开关(3)电性连接所述电机(17)。