[发明专利]一种用于硅锭加工的硅片运输装置

说明书

本发明涉及硅片运输设备领域，尤其涉及一种用于硅锭加工的硅片运输装置，包括集装部分和升降部分；所述集装部分包含集装箱、移动轮，且所述集装箱的顶部设置防护顶板；所述防护顶板的底部通过连接绳连接若干个托板，且所述托板的两侧开设于若干个第二凹槽；所述防护顶板的底部开设第一凹槽；所述连接绳的底部连接底板，且所述底板的顶表面开设第三凹槽；所述升降部分包含壳体、电机，且所述电机连接齿轮；所述齿轮啮合齿板，且所述齿板插入到集装箱侧壁的插槽内部；且所述齿板的顶部固定所述防护顶板；所述壳体的外侧设置开关。本发明可实现将多个硅片平行并隔开的进行固定，避免硅片之间相互摩擦和碰撞，降低运输中的破碎率。

技术领域

本发明涉及硅片运输设备领域，尤其涉及一种用于硅锭加工的硅片运输装置。

背景技术

硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件；用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力；科学技术的发展不断推动着半导体的发展；自动化和计算机等技术发展，使硅片这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度；这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，甚至悄悄进入每一个家庭。

硅片通过硅锭切割制成，通常硅片切割成型后需要对其进行运输以便于进行下一步加工，现有的运输装置采用简单的手推车的形式，使硅片堆在手推车内部进行运输，这种运输方式易造成硅片之间的相互磨损和碰撞，易破坏硅片，同时受外界环境影响大。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于硅锭加工的硅片运输装置，以解决上述技术问题。

本发明为解决上述技术问题，采用以下技术方案来实现：

设计一种用于硅锭加工的硅片运输装置，包括集装部分和升降部分；所述集装部分包含集装箱，所述集装箱的底部安装移动轮，且所述集装箱的顶部设置防护顶板；所述防护顶板的底部通过连接绳连接若干个托板，且所述托板的两侧开设有若干个第二凹槽；所述防护顶板的底部开设第一凹槽，且所述第一凹槽与所述第二凹槽在一条水平线上；所述连接绳的底部连接底板，且所述底板的顶表面开设第三凹槽；所述第三凹槽与所述第二凹槽在一条水平线上；所述升降部分包含壳体，所述壳体的内部安装电机，且所述电机连接齿轮；所述齿轮啮合齿板，且所述齿板插入到集装箱侧壁的插槽内部；且所述齿板的顶部固定所述防护顶板；所述壳体的外侧设置开关，且所述开关电性连接所述电机。

优选的，所述集装箱采用顶部为开口的矩形结构，且所述集装箱的侧部固定推手，为了便于整体的移动。

优选的，所述托板与所述底板的侧部均开设滑槽，且所述滑槽的外侧滑动推块；所述推块的侧部固定活动杆，且所述活动杆的侧部固定钢叉；所述托板与所述底板的侧部均开设限位孔，且所述限位孔配合连接所述钢叉，为了通过所述钢叉的插入实现对所述托板位置的改变，实现改变所述托板之间的间距，便于对不同高度的硅片进行固定。

优选的，所述滑槽的宽度均小于所述托板、所述底板的宽度，且所述滑槽的内侧采用齿状结构。

优选的，所述第一凹槽等距分布于所述防护顶板的底部，且所述防护顶板的四角处均通过所述连接绳连接至少两个所述托板。

优选的，所述连接绳的高度与所述集装箱的高度相同，且所述连接绳贯穿所述托板与所述底板。

本发明的有益效果是：

本发明利用可调间距的压板配合防护顶板、底板，可实现将多个硅片平行并隔开的进行固定，避免硅片之间相互摩擦和碰撞，降低运输中的破碎率；同时可实现多排硅片的集中放置，使用范围广，操作简单，另外可使硅片完全收纳于集装箱的内部，实现对硅片的良好收纳，避免硅片受到外部环境的污染。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的防护顶板、托板和底板的连接结构示意图；