[发明专利]一种研磨盘固定架在审
| 申请号： | 201810680772.2 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN108818296A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 高志强 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种研磨盘固定架，适用于化学机械研磨装置，化学机械研磨装置包括研磨臂，其中包括：一研磨盘支架，研磨盘支架由永磁铁制成，研磨盘支架固定于研磨臂的一端；一具有铁磁性的研磨盘，研磨盘吸附于研磨盘支架上；一定位件，设置于研磨盘支架的周向，用以固定研磨盘。本发明的技术方案有益效果在于：实现研磨盘的快速安装，减少了因固定螺栓在固定的过程中产生的铁屑，进而降低了报废风险，提高了运行时间和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨盘 支架 化学机械研磨装置 固定架 研磨臂 固定研磨盘 固定螺栓 快速安装 生产效率 支架固定 固定的 铁磁性 永磁铁 铁屑 位件 吸附 报废 | ||
【主权项】：
1.一种研磨盘固定架，适用于化学机械研磨装置，所述化学机械研磨装置包括研磨臂，其特征在于，包括：一研磨盘支架，所述研磨盘支架由永磁铁制成，所述研磨盘支架固定于所述研磨臂的一端；一具有铁磁性的研磨盘，所述研磨盘吸附于所述研磨盘支架上；一定位件，设置于所述研磨盘支架的周向，用以固定所述研磨盘。
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