[发明专利]一种研磨盘固定架

说明书

本发明公开一种研磨盘固定架，适用于化学机械研磨装置，化学机械研磨装置包括研磨臂，其中包括：一研磨盘支架，研磨盘支架由永磁铁制成，研磨盘支架固定于研磨臂的一端；一具有铁磁性的研磨盘，研磨盘吸附于研磨盘支架上；一定位件，设置于研磨盘支架的周向，用以固定研磨盘。本发明的技术方案有益效果在于：实现研磨盘的快速安装，减少了因固定螺栓在固定的过程中产生的铁屑，进而降低了报废风险，提高了运行时间和生产效率。

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种研磨盘固定架。

背景技术

在大规模集成电路的制造领域中，化学机械研磨工艺是一个复杂的工艺过程，它是将晶圆表面与研磨垫的研磨表面接触，然后，通过晶圆表面与研磨垫的摩擦使原来凹凸不平的晶圆表面变得平坦。

目前，研磨盘支架和研磨盘是通过三颗不锈钢螺栓进行固定，安装方式为首先将研磨盘紧贴于研磨盘支架，然后分别将每颗螺栓均匀锁几圈，再依次锁紧每颗螺栓，如图1a、1b所示，包括研磨盘支架1A、研磨盘1B、螺栓1C，这样会产生以下问题：(1)研磨盘安装不方便，耗时较长，造成机台运行时间低；(2)在安装过程中，锁螺栓的过程中，会产生铁屑，增加了报废风险，降低了生产效率。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种研磨盘固定架。

具体技术方案如下：

一种研磨盘固定架，适用于化学机械研磨装置，所述化学机械研磨装置包括研磨臂，其中包括：

一研磨盘支架，所述研磨盘支架由永磁铁制成，所述研磨盘支架固定于所述研磨臂的一端；

一具有铁磁性的研磨盘，所述研磨盘吸附于所述研磨盘支架上；

一定位件，设置于所述研磨盘支架的周向，用以固定所述研磨盘。

优选的，所述定位件为固定销，所述固定销垂直固定于所述研磨盘支架的周向。

优选的，所述定位件至少设置为两个。

优选的，至少两个所述定位件之间的夹角大于90度。

优选的，所述研磨盘面向所述研磨盘支架的一面设置一定位孔，所述定位孔的数量与所述定位件的数量相同。

优选的，所述定位件与所述定位孔相匹配。

优选的，所述研磨盘为圆形结构。

优选的，所述研磨盘支架与所述研磨盘相适配。

一种化学机械研磨机台，其中包括上述任意一项所述的研磨盘固定架。

本发明的技术方案有益效果在于：实现研磨盘的快速安装，减少了因固定螺栓在固定的过程中产生的铁屑，进而降低了报废风险，提高了运行时间和生产效率。

附图说明

参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。

图1a为现有技术中，关于研磨盘固定架的整体结构示意图；

图1b为现有技术中，关于研磨盘的结构示意图；

图2本发明中，关于研磨盘固定架的整体结构示意图；

图3为本发明中，关于研磨盘支架的结构示意图；

图4为本发阿明中，关于研磨盘的结构示意图。

具体实施方式