[发明专利]一种单晶圆清洗设备用试剂可控旋转喷雾装置

摘要

本发明公开了一种单晶圆清洗设备用试剂可控旋转喷雾装置，本发明包括壳体、水箱和喷雾机构，壳体内部的上方位置上安装有水箱，水箱的出水口通过导水管与喷雾机构之间密封连接，喷雾机构包括传动架、丝杆、料筒、控量箱、电机A、电机B和安装板，控量箱安装在水箱的下方位置上，控量箱的下方位置上安装有传动架，传动架内部的左端安装有电机A，电机A的输出轴通过联轴器与丝杆一端转动连接，丝杆另一端与传动架右端的轴承架之间转动连接。本发明通过设置喷雾机构，解决了现有技术对试剂的喷洒不均匀以及在喷洒过程中不能根据加工工艺进行定量喷雾的问题。

主权项

1.一种单晶圆清洗设备用试剂可控旋转喷雾装置，包括壳体(1)、水箱(2)和喷雾机构(5)，其特征在于：所述壳体(1)内部的上方位置上安装有水箱(2)，所述水箱(2)的出水口通过导水管(4)与喷雾机构(5)之间密封连接，所述喷雾机构(5)包括传动架(7)、丝杆(9)、料筒(14)、控量箱(10)、电机A(8)、电机B(21)和安装板(20)，所述控量箱(10)安装在水箱(2)的下方位置上，所述控量箱(10)的下方位置上安装有传动架(7)；所述传动架(7)内部的左端安装有电机A(8)，所述电机A(8)的输出轴通过联轴器与丝杆(9)一端转动连接，所述丝杆(9)另一端与传动架(7)右端的轴承架之间转动连接，所述丝杆(9)上安装有滚珠，所述丝杆(9)上的滚珠与活塞杆(13)一端连接，所述活塞杆(13)一端设置在控量箱(10)内部，所述活塞杆(13)另一端穿过料筒(14)与设置在料筒(14)内部的活塞块(15)连接；所述料筒(14)安装在控量箱(10)的右端，所述料筒(14)的右端开设有料口，所述料筒(14)上的料口上安装有电磁换向阀(17)，所述电磁换向阀(17)上方的进料口通过导水管(4)与水箱(2)的出水口之间密封连接，所述电磁换向阀(17)下方的出料口通过导水管(4)与安装板(20)上的喷头(19)之间密封连接，所述传动架(7)下方的中间位置上安装有电机箱(22)；所述电机箱(22)内部安装有电机B(21)，所述电机B(21)的正下方位置上安装有安装板(20)，所述电机B(21)的输出轴与安装板(20)之间转动连接，所述安装板(20)的正下方位置上均匀安装有若干个喷头(19)。