[发明专利]一种复合薄膜在审
申请号: | 201810653476.3 | 申请日: | 2018-06-22 |
公开(公告)号: | CN108766631A | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 王旭;褚繁;钱娟 | 申请(专利权)人: | 无锡众创未来科技应用有限公司 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14 |
代理公司: | 广州市百拓共享专利代理事务所(特殊普通合伙) 44497 | 代理人: | 卢刚 |
地址: | 214100 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明的具有低温制备、高导电性、高透光性的薄型化复合薄膜结构,设置于光电元件的基材及至少一个金属电极之间,其特征在于:该薄膜结构具有第一透明层、导电层及第二透明层。该第一透明层为半导体透明导电薄膜,沉积在该基材的一侧面;该导电层为纳米级的导电薄膜,沉积在该第一透明层的一侧面,第二透明层为氧化物透明导电薄膜,沉积在该导电层的一侧面。 | ||
搜索关键词: | 透明层 导电层 沉积 侧面 基材 氧化物透明导电薄膜 复合薄膜结构 透明导电薄膜 薄膜结构 导电薄膜 低温制备 复合薄膜 高导电性 高透光性 光电元件 金属电极 薄型化 纳米级 半导体 | ||
【主权项】:
1.一种复合薄膜,设置在光电元件或基材及至少一个金属电极之间,其特征在于:从该基材或该光电元件向上依序设有第一透明层、导电层及第二透明层,该第一透明层为半导体透明导电薄膜,沉积在该基材的一侧面,该导电层为纳米级的导电薄膜,沉积在该第一透明层的一侧面,第二透明层为氧化物透明导电薄膜,沉积在该导电层的一侧面。
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