[发明专利]一种恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法在审
| 申请号： | 201810652754.3 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN108640674A | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 柯尚文;彭寿;马立云;那嘉;向光;张玲莉;余永强;李隽;范家伟;董永亮 | 申请（专利权）人： | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 左恒峰 |
| 地址： | 528137 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，步骤如下：1)将注浆成型得到的ITO靶材坯体放在恒温恒湿房内的垫板上，控制温度为25～35℃、相对湿度为86％～96％、干燥介质流速为0.5～2m/s，干燥24～30h；2)控制温度为30～50℃、相对湿度为80％～90％、干燥介质流速为1～2.4m/s，干燥10～20h；3)控制温度为50～80℃、相对湿度为40％～60％、干燥介质流速为1～2.5m/s，干燥2～5h。本发明具有干燥时间短、干燥温度低、能耗低等特点，提高了生产效率，且可以有效避免ITO靶材坯体出现干燥缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 坯体 干燥介质 恒温恒湿 快速干燥 干燥缺陷 生产效率 注浆成型 垫板 能耗 | ||
【主权项】：
1.一种恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于：步骤如下：1)将注浆成型得到的ITO靶材坯体放在恒温恒湿房内的垫板上，控制温度为25～35℃、相对湿度为86％～96％、干燥介质流速为0.5～2m/s，干燥24～30h；2)控制温度为30～50℃、相对湿度为80％～90％、干燥介质流速为1～2.4m/s，干燥10～20h；3)控制温度为50～80℃、相对湿度为40％～60％、干燥介质流速为1～2.5m/s，干燥2～5h。
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