[发明专利]一种恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法在审
| 申请号： | 201810652754.3 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN108640674A | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 柯尚文;彭寿;马立云;那嘉;向光;张玲莉;余永强;李隽;范家伟;董永亮 | 申请（专利权）人： | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 左恒峰 |
| 地址： | 528137 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坯体 干燥介质 恒温恒湿 快速干燥 干燥缺陷 生产效率 注浆成型 垫板 能耗 | ||
1.一种恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于：步骤如下：
1)将注浆成型得到的ITO靶材坯体放在恒温恒湿房内的垫板上，控制温度为25～35℃、相对湿度为86％～96％、干燥介质流速为0.5～2m/s，干燥24～30h；
2)控制温度为30～50℃、相对湿度为80％～90％、干燥介质流速为1～2.4m/s，干燥10～20h；
3)控制温度为50～80℃、相对湿度为40％～60％、干燥介质流速为1～2.5m/s，干燥2～5h。
2.根据权利要求1所述的恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于：步骤1)所述ITO靶材坯体由ITO粉体、分散剂、粘结剂和水制备而成。
3.根据权利要求2所述的恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于：所述ITO粉体、分散剂、粘结剂、水的质量比为1：(0.001～0.03)：(0.001～0.03)：(0.3～0.5)。
4.根据权利要求2或3所述的恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于：所述ITO粉体的粒径为20～400nm。
5.根据权利要求2或3所述的恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于：所述分散剂为聚羧酸系分散剂、丙烯酸系分散剂中的至少一种。
6.根据权利要求2或3所述的恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于：所述粘结剂为丙烯酸树脂类粘结剂、聚乙烯醇类粘结剂中的至少一种。
7.据权利要求1所述的恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于：步骤1)所述注浆成型的注浆压力为0.1～0.4MPa。
8.根据权利要求1所述的恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于：步骤1)所述ITO靶材坯体的相对密度为58％～63％。
9.根据权利要求1所述的恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于：步骤1)所述垫板的材质为刚玉-莫来石、硅酸钙中的一种，表面粗糙度Ra<8μm。
10.根据权利要求1所述的恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于：步骤1)～3)所述干燥介质为空气。
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