[发明专利]氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法及装置有效
| 申请号： | 201810642471.0 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN108872349B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 孙卫龙;魏勇建;贺立龙;周妤;钱璐;秦雄雄;付研博;吴垠昊 | 申请（专利权）人： | 西安创研电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/416 | 分类号： | G01N27/416 |
| 代理公司： | 西安永生专利代理有限责任公司 61201 | 代理人： | 申忠才 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市雁塔*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法及装置，依次检测氮氧传感器陶瓷芯片主泵、辅助泵、测量泵的气敏性，根据检测对象，配置出相应浓度的氧气；将氮氧传感器陶瓷芯片加热到合适的工作温度，再向待测氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵的氧泵加载渐变的电压，测试该氧泵电流和氧浓差电势；根据氧泵电压和氧泵电流以及氧浓差电势，判断氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵氧泵的泵氧能力和反应空腔氧气浓度的能力。本发明具有工作效率高、节省人力、对待测芯片无损伤的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 陶瓷 芯片 气敏性 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法，其特征在于包括如下步骤：(1)依次检测氮氧传感器陶瓷芯片主泵、辅助泵、测量泵的气敏性，根据检测对象，配置出相应浓度的氧气；(2)将氮氧传感器陶瓷芯片加热到目标温度，再向待测氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵的氧泵加载渐变的电压，测试该氧泵电流和氧浓差电势；(3)根据氧泵电压和氧泵电流以及氧浓差电势，判断氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵氧泵的泵氧能力和反应空腔氧气浓度的能力。
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