[发明专利]氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法及装置

说明书

一种氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法及装置，依次检测氮氧传感器陶瓷芯片主泵、辅助泵、测量泵的气敏性，根据检测对象，配置出相应浓度的氧气；将氮氧传感器陶瓷芯片加热到合适的工作温度，再向待测氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵的氧泵加载渐变的电压，测试该氧泵电流和氧浓差电势；根据氧泵电压和氧泵电流以及氧浓差电势，判断氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵氧泵的泵氧能力和反应空腔氧气浓度的能力。本发明具有工作效率高、节省人力、对待测芯片无损伤的优点。

技术领域

本发明属于测量测试技术领域，具体涉及到一种氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法及装置。

背景技术

随着汽车行业的发展，机动车数量的增加，机动车尾气排放已成为空气污染的主要来源。汽车尾气污染已占到全部大气污染的65％～80％，尾气中有害成分主要有：一氧化碳、不完全燃烧的碳氢化合物、氮氧化合物以及微粒物质等，这些尾气污染物的排放对人类的健康和生存环境已经造成了严重的威胁。针对这种现状，许多国家制定了越来越严格的汽车尾气排放法规来制约这一问题，以控制汽车尾气污染物的排放量，为了达到降低尾气排放的目的，必须对尾气进行实时监测并对其进行控制，汽车尾气氧传感器、氮氧化合物传感器以及氨传感器等成为汽车尾气控制系统的关键监测元件。

氮氧化物传感器的质量直接决定了测量尾气中氮氧化物的含量的准确性，而且近年来国内氮氧化物传感器发展还不够成熟，大部分处于研究试验阶段，针对氮氧化物传感器的检测更是缺乏有效的方法。目前，已有一些测试氮氧传感器陶瓷芯片的方法，但是还存在许多缺陷，有些只针对氮氧传感器陶瓷芯片氧泵电流进行测试，并且容易对芯片产生不可恢复到影响，为更好地的分析氮氧化物传感器陶瓷芯片性能，并提出后期的改善方法，就必须经过反复的测试，这便增加了研究人员的工作量，降低了工作效率。因此，研发一种全面分析氮氧化物传感器陶瓷芯片性能的测试方法及装置就成为一种迫切需求。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一种工作效率高、节省人力、对待测芯片无损伤的氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法。

解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法，包括如下步骤：

（1）依次检测氮氧传感器陶瓷芯片主泵、辅助泵、测量泵的气敏性，根据检测对象，配置出相应浓度的氧气；

（2）将氮氧传感器陶瓷芯片加热到目标温度，再向待测氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵的氧泵加载渐变的电压，测试该氧泵电流和氧浓差电势；

（3）根据氧泵电压和氧泵电流以及氧浓差电势，判断氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵氧泵的泵氧能力和反应空腔氧气浓度的能力。

作为一种优选的技术方案，所述的步骤（1）中测试氮氧传感器陶瓷芯片主泵时，配置出氧气的浓度为21%；测试氮氧传感器陶瓷芯片辅助泵时，配置出氧气的浓度为5%；测试氮氧传感器陶瓷芯片测量泵时，配置出氧气的浓度为1%。

作为一种优选的技术方案，所述的步骤（2）中测试氮氧传感器陶瓷芯片主泵时，加载渐变电压为0～1.2V，渐变增加幅度为50mV；测试氮氧传感器陶瓷芯片辅助泵时，加载渐变的电压为0～1V，渐变增加幅度为50mV；测试氮氧传感器陶瓷芯片测量泵时，加载渐变的电压为0～0.8V，渐变增加幅度为50mV。

作为一种优选的技术方案，所述步骤（3）中氧浓差电势随着氧泵空腔氧气浓度减小而增大，氧浓差电势为