[发明专利]一种微通道板组件

摘要

本发明公开了一种微通道板组件，主要应用于飞行时间质谱等领域，包括两块微通道板，输入和输出电极、绝缘环、阳极、绝缘支撑结构以及绝缘盖板，在两微通道板之间采用环形绝缘垫片并一体化制作两个错位排列的引出条，它们的厚度在20μm～280μm，环形绝缘垫片的两个端面分别蒸镀金属薄膜电极，而两个引出条分别只有一个端面同时蒸镀上述金属薄膜电极，并确保其与该端面上绝缘垫片的金属薄膜电极相连，由此制作的微通道板组件，可以依据探测信号的不同情况，采用非常灵活的供电方式，并且有效保证两微通道板的间隙最小化，由此可实现对入射到微通道板组件的离子的最佳探测。

主权项

1.一种微通道板组件，包括绝缘盖板(1)、输入电极(2)、第一级微通道板(3)、一体化环形电极(4)、第二级微通道板(5)、输出电极(6)、绝缘环(7)、阳极(8)和绝缘支撑结构(9)，阳极(8)、绝缘环(7)、输出电极(6)、第二级微通道板(5)、一体化环形电极(4)、第一级微通道板(3)、输入电极(2)构成微通道板组件的部件，依次装入绝缘支撑结构(9)内，并通过螺钉将绝缘盖板(1)与上述微通道板组件的部件固定于绝缘支撑架(9)内，其特征是：所述一体化环形电极(4)是由绝缘材料制作的环形垫片(4‑1)和同体引出两错位引出条(4‑2‑1和4‑2‑2)构成，并在环形垫片(4‑1)的两个端面和引出条(4‑2‑1和4‑2‑2)的一个端面分别蒸镀金属薄膜电极(4‑3、4‑3‑1、4‑3‑2、)，环形垫片(4‑1)上的电极(4‑3)与引出条(4‑2‑1和4‑2‑2)上对应的金属薄膜电极(4‑3‑1、4‑3‑2))无缝隙电学连接。