[发明专利]基于CAN总线的真空镀膜设备的蒸发源控制装置及其控制方法

摘要

本发明涉及一种基于CAN总线的真空镀膜蒸发源控制装置及其控制方法，该控制装置的主控制器包括微控制器、开关量调理模块、开关量输出驱动模块、模拟量输入调理模块、模拟量变换输出模块、CAN总线接口模块等。本装置在运行时能够对真空镀膜设备蒸发源进行全自动监督控制，保证蒸发功率的控制精度和稳定性，提高镀膜质量。所述的主控制器能够通过CAN总线实时获得管理计算机的控制命令和目标值，采集蒸发源主回路二次侧负载电流、电压和报警信息，根据预置的控制程序和算法进行分析计算，通过调节蒸发源主回路一次侧的电流电压，而对蒸发源负载功率进行调节。所述的主控制器在使用时还能够将蒸发源当前状态信息和电量信息上传给管理计算机。

主权项

1.一种真空镀膜蒸发源控制装置，包括主控制器；主控制器包括微控制器（1）和电源模块（10）；电源模块（10）是使用时能够为微控制器（1）和各输入和输出模块和供隔离电源的电路；其特征在于：还包括CAN总线；主控制器还包括开关量调理模块（2）、开关量输出驱动模块（5）、模拟量输入调理模块（6）、模拟量变换输出模块（7）和CAN总线接口模块（9）；主控制器使用时能够由其微控制器（1）通过CAN总线接口模块（9）与CAN总线双向信号连接；所述的CAN总线是使用时能够实时获得管理计算机的控制命令、并将蒸发源当前状态信息和电量信息上传给管理计算机的电路；所述的微控制器（1）为主控制器的控制中心，是使用时能够对数据进行运算处理的电路；所述的开关量调理模块（2）是使用时能够对开关输入量的电平进行转换和整型的电路，其输入端是使用时与开关量控制仪表相连的端口，其输出端通过光电隔离（3）与微控制器（1）相连；所述的开关量输出驱动模块（5）是使用时能够对开关输出信号进行放大的电路，其输入端通过光电隔离器（4）与微控制器（1）相连，其输出端是使用时与开关量仪表相连的端口；所述的模拟量输入调理模块（6）是使用时能够对多路模拟量进行滤波和调理的电路，其输入端是使用时与多个传感器相连的端口，其输出端与微控制器（1）相连；所述的模拟量变换输出模块（7）是使用时能够把数字控制信号转换为多种标准的模拟控制信号的电路，其输出端与微控制器（1）相连，其输出端是使用时能够与控制仪表相连的端口；所述的CAN总线接口模块（9）包括CAN总线接口，其一端通过光电隔离器（8）与微控制器（1）相连，另一端与CAN总线相连1。