[发明专利]基于CAN总线的真空镀膜设备的蒸发源控制装置及其控制方法

权利要求书

1.一种真空镀膜蒸发源控制装置，包括主控制器；主控制器包括微控制器（1）和电源模块（10）；电源模块（10）是使用时能够为微控制器（1）和各输入和输出模块和供隔离电源的电路；其特征在于：还包括CAN总线；主控制器还包括开关量调理模块（2）、开关量输出驱动模块（5）、模拟量输入调理模块（6）、模拟量变换输出模块（7）和CAN总线接口模块（9）；

主控制器使用时能够由其微控制器（1）通过CAN总线接口模块（9）与CAN总线双向信号连接；所述的CAN总线是使用时能够实时获得管理计算机的控制命令、并将蒸发源当前状态信息和电量信息上传给管理计算机的电路；

所述的微控制器（1）为主控制器的控制中心，是使用时能够对数据进行运算处理的电路；

所述的开关量调理模块（2）是使用时能够对开关输入量的电平进行转换和整型的电路，其输入端是使用时与开关量控制仪表相连的端口，其输出端通过光电隔离（3）与微控制器（1）相连；

所述的开关量输出驱动模块（5）是使用时能够对开关输出信号进行放大的电路，其输入端通过光电隔离器（4）与微控制器（1）相连，其输出端是使用时与开关量仪表相连的端口；

所述的模拟量输入调理模块（6）是使用时能够对多路模拟量进行滤波和调理的电路，其输入端是使用时与多个传感器相连的端口，其输出端与微控制器（1）相连；

所述的模拟量变换输出模块（7）是使用时能够把数字控制信号转换为多种标准的模拟控制信号的电路，其输出端与微控制器（1）相连，其输出端是使用时能够与控制仪表相连的端口；

所述的CAN总线接口模块（9）包括CAN总线接口，其一端通过光电隔离器（8）与微控制器（1）相连，另一端与CAN总线相连1。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜蒸发源控制装置，其特征在于：所述的微控制器（1）对数据的运算处理，其中包括能够对所采集的蒸发源主回路二次侧负载的电流、电压信息和报警信息，根据预置的控制程序和算法进行分析计算，输出相应的控制信号，而通过调节蒸发源主回路一次侧的电流电压，而实现对蒸发源负载功率的闭环调节。

3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜蒸发源控制装置，其特征在于：主控制器还包括状态指示接口（11）； 所述状态指示接口（11）使用时能够输出主控制器所处的工作状态的信号，其输入端与微控制器（1）相连，其输出端是使用时能够与外围指示二极管相连的端口。

4.根据权利要求1或2所述的真空镀膜蒸发源控制装置，其特征在于：所述的模拟量变换输出模块（7）包括高速光耦（7a）、数模转换电路（7b）、基准电源电路（7c）、四种标准电压输出模式电路（7d）、两种标准电流输出模式电路（7e）和输出模式选择组合电路（7f）；高速光耦（7a）设有输入端和输出端；数模转换电路（7b）设有输入端、输出端和电源端；基准电源电路（7c）设有输入端和输出端；四种标准电压输出模式电路（7d）设有第一输入端、第二输入端、第一输出端和第二输出端；两种标准电流输出模式电路（7e）设有第一输入端、第二输入端和输出端；输出模式选择组合电路（7f）设有第一输出端和第二输出端；

高速光耦（7a）的输入端即为模拟量变换输出模块（7）的输入端；高速光耦（7a）的输出端与数模转换电路（7b）的输入端相连；数模转换电路（7b）的电源端与基准电源电路（7c）的输出端相连；数模转换电路（7b）的输出端与四种标准电压输出模式电路（7d）的第一输入端相连；四种标准电压输出模式电路（7d）的第二输入端与输出模式选择组合电路（7f）的第一输出端相连；四种标准电压输出模式电路（7d）的第二输出端与两种标准电流输出模式电路（7e）的第二输入端相连；两种标准电流输出模式电路（7e）的第一输入端与输出模式选择组合电路（7f）的第二输出端相连。