[发明专利]一种精确定位的芯片烧录定位方法以及烧录装置在审
申请号: | 201810612211.9 | 申请日: | 2018-06-14 |
公开(公告)号: | CN108766921A | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 王开来;袁孟辉;吴伟文 | 申请(专利权)人: | 广州明森科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 510520 广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种精确定位的芯片烧录定位方法以及烧录装置,该芯片烧录定位方法包括以下步骤:驱动件驱动夹紧爪远离烧录座的芯片槽;传送机构的吸头将芯片搬运至芯片槽中;驱动件释放夹紧爪,夹紧爪复位,并将芯片夹紧在芯片槽中;吸头释放芯片并远离芯片槽。该烧录装置包括烧录座和驱动机构;其中,所述烧录座包括固定座和活动座;所述固定座的上端面设有芯片槽,芯片槽的两侧均设有夹紧爪;夹紧爪设有夹紧部;当两个夹紧部作用在芯片上时,两个夹紧部之间的间隙的宽度大于位于该间隙处的用于将芯片放进芯片槽中的吸头的宽度。该芯片烧录定位方法和烧录装置能够准确地将芯片定位在烧录座的芯片槽中,避免因芯片错位而导致的烧录故障。 | ||
搜索关键词: | 芯片槽 夹紧爪 烧录 烧录装置 芯片烧录 夹紧部 吸头 芯片 固定座 驱动件 传送机构 驱动机构 芯片搬运 芯片定位 释放 活动座 间隙处 上端面 芯片夹 复位 错位 驱动 | ||
【主权项】:
1.一种精确定位的芯片烧录定位方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)驱动件驱动夹紧爪远离烧录座的芯片槽;(2)传送机构的吸头将芯片搬运至芯片槽中,此时芯片由吸头定位在芯片槽中;(3)驱动件释放夹紧爪,夹紧爪复位,并将芯片夹紧在芯片槽中,此时夹紧爪和吸头均对芯片起到定位作用;(4)吸头释放芯片并离开芯片槽,由夹紧爪对芯片进行定位。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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